對同一靶丸的相同位置進行白光垂直掃描干涉實驗,，如圖4-3所示,。通過控制光學輪廓儀的運動機構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上移動,，測量光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底后直接反射回參考鏡的光線之間的光程差。顯然,，越偏離靶丸中心的光線測得的有效壁厚越大,，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度,。只有當垂直穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)于靶丸的上,、下殼層的厚度。因此，在進行白光垂直掃描干涉實驗時,，需要選擇穿過靶丸中心的光線位置進行測量,，這樣才能準確地測量靶丸殼層的厚度。此外,，通過控制干涉物鏡在垂直方向上移動,，可以測量出不同位置的厚度值，從而得到靶丸殼層厚度的空間分布情況,。精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。本地膜厚儀常用解決方案

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,，此項技術(shù)主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術(shù),，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響,。此項技術(shù)能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡,，被分成兩束光，這兩束光分別入射到參考鏡和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,，由色散元件分光至探測器，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結(jié)合起來,，形成了一種精度高而且速度快的測量方法。高速膜厚儀主要功能與優(yōu)勢總之,，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用很廣的測量薄膜厚度的儀器,。

極值法求解過程計算簡單，速度快,，同時能確定薄膜的多個光學常數(shù)并解決多值性問題,，測試范圍廣，但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素，因此精度不夠高,。此外,，由于受曲線擬合精度的限制，該方法對膜厚的測量范圍有要求,，通常用于測量薄膜厚度大于200納米且小于10微米的情況,，以確保光譜信號中的干涉波峰數(shù)適當。全光譜擬合法是基于客觀條件或基本常識來設(shè)置每個擬合參數(shù)上限,、下限,，并為該區(qū)域的薄膜生成一組或多組光學參數(shù)及厚度的初始值，引入適合的色散模型,，再通過麥克斯韋方程組的推導得到結(jié)果,。該方法能判斷預(yù)設(shè)的初始值是否為要測量的薄膜參數(shù)，建立評價函數(shù)來計算透過率/反射率與實際值之間的偏差,。只有當計算出的透過率/反射率與實際值之間的偏差很小時,，我們才能認為預(yù)設(shè)的初始值就是要測量的薄膜參數(shù)。

在初始相位為零的情況下,，當被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值。為了探測兩個光束之間的零光程差位置,，需要使用精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動,，或移動載物臺。在垂直掃描過程中,，可以用探測器記錄下干涉光強,，得到白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線。通過干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化的示意圖,，可以找到光強極大值位置,，即為零光程差位置。通過精確確定零光程差位置,，可以實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,。同時，通過確定最大值對應(yīng)的Z向位置,，也可以獲得被測樣品表面的三維高度,。通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度，利用膜層與底材的反射率和相位差來實現(xiàn)測量,。

在納米級薄膜的各項相關(guān)參數(shù)中,，薄膜材料的厚度是薄膜設(shè)計和制備過程中重要的參量之一，具有決定薄膜性質(zhì)和性能的基本作用,。然而,，由于其極小尺寸及突出的表面效應(yīng),，使得對納米級薄膜的厚度準確測量變得困難。經(jīng)過眾多科研技術(shù)人員的探索和研究,，新的薄膜厚度測量理論和測量技術(shù)不斷涌現(xiàn),，測量方法從手動到自動、有損到無損不斷得到實現(xiàn),。對于不同性質(zhì)薄膜,，其適用的厚度測量方案也不相同。針對納米級薄膜,，應(yīng)用光學原理的測量技術(shù),。相比其他方法，光學測量方法具有精度高,、速度快,、無損測量等優(yōu)勢，成為主要檢測手段,。其中代表性的測量方法有橢圓偏振法,、干涉法,、光譜法,、棱鏡耦合法等。白光干涉膜厚儀需要進行校準和選擇合適的標準樣品,，以保證測量結(jié)果的準確性,。國內(nèi)膜厚儀免費咨詢

總結(jié)，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣,、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器,。本地膜厚儀常用解決方案

在激光慣性約束核聚變實驗中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎(chǔ),，因此如何對靶丸多個參數(shù)進行高精度,、同步、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題,。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊,，但針對本文實驗，仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求,，靶丸參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量,，否則，被破壞后的靶丸無法用于于下一步工藝處理或者打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數(shù),，不同參數(shù)的單獨測量，無法提供靶丸制備和核聚變反應(yīng)過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化現(xiàn)象和規(guī)律,，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測量標準。靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應(yīng)力大,、難展平的特點導致靶丸與基底不能完全貼合,，在微區(qū)內(nèi)可看作類薄膜結(jié)構(gòu)。本地膜厚儀常用解決方案