基于表面等離子體共振傳感的測量方案，利用共振曲線的三個特征參量半高寬,、—共振角和反射率小值,，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,，操作方法簡單,。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)，測得金膜在入射光波長分別為632.8nm和652.1nm時的共振曲線,，由此得到金膜的厚度為55.2nm,。由于該方案是一種強度測量方案，測量精度受環(huán)境影響較大,，且測量結(jié)果存在多值性的問題,，所以我們進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實現(xiàn)厚度測量,。Michelson干涉儀的光路長度支配了精度,。納米級膜厚儀測距

針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜,。如何精確地測定靶丸的光學(xué)參數(shù),，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題。由于光學(xué)測量方法具有無損,、非接觸,、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)越性，靶丸參數(shù)測量通常采用光學(xué)測量方式,。常用的光學(xué)參數(shù)測量手段很多,，目前，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)的測量方法有白光干涉法,、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動共焦法等。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù),，因此,，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義。而常用的折射率測量方法,，如橢圓偏振法,、折射率匹配法、白光光譜法,、布儒斯特角法等,。微米級膜厚儀品牌企業(yè)白光干涉膜厚儀需要校準，標準樣品的選擇和使用至關(guān)重要,。

白光干涉時域解調(diào)方案通過機械掃描部件驅(qū)動干涉儀的反射鏡移動,，補償光程差，實現(xiàn)對信號的解調(diào),。該系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖2-1所示,。光纖白光干涉儀的兩個輸出臂分別作為參考臂和測量臂，用于將待測的物理量轉(zhuǎn)換為干涉儀兩臂的光程差變化,。測量臂因待測物理量的變化而增加未知光程差,，參考臂則通過移動反射鏡來補償測量臂所引入的光程差。當干涉儀兩臂光程差ΔL=0時,，即兩個干涉光束的光程相等時，將出現(xiàn)干涉極大值,，觀察到中心零級干涉條紋,，這種現(xiàn)象與外界的干擾因素無關(guān),，因此可以利用它來獲取待測物理量的值。會影響輸出信號強度的因素包括：入射光功率、光纖的傳輸損耗,、各端面的反射等。雖然外界環(huán)境的擾動會影響輸出信號的強度,，但對于零級干涉條紋的位置并不會造成影響,。

由于靶丸自身特殊的特點和極端的實驗條件，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜,。光學(xué)測量方法具有無損,、非接觸,、測量效率高、操作簡便等優(yōu)勢,，因此成為了測量靶丸參數(shù)的常用方式,。目前常用于靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)測量的方法有白光干涉法、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動共焦法等,。然而，靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù),，因此對其進行精密測量具有重要意義,。 常用的折射率測量方法有橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等。它可測量大氣壓下1納米到1毫米范圍內(nèi)的薄膜厚度,。

白光反射光譜探測模塊中,，入射光經(jīng)過分光鏡1分光后，一部分光照射到靶丸表面,，靶丸殼層上,、下表面的反射光經(jīng)物鏡、分光鏡1,、聚焦透鏡,、分光鏡2后，一部分光聚焦到光纖端面并到達光譜儀探測器,，實現(xiàn)了靶丸殼層白光干涉光譜的測量,。另一部分光到達CCD探測器，獲得靶丸表面的光學(xué)圖像,。靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊和三維運動模塊分別用于靶丸的吸附定位以及靶丸特定角度的轉(zhuǎn)位和靶丸位置的調(diào)整,。在測量過程中，將靶丸放置于軸系吸嘴前端,，通過微型真空泵將其吸附于吸嘴上,；然后，移動位移平臺,，將靶丸移動至CCD視場中心,，Z向位移臺可調(diào)整視場清晰度；利用光譜儀探測靶丸殼層的白光反射光譜,；靶丸在軸系的帶動下,，平穩(wěn)轉(zhuǎn)動到特定角度，為消除軸系回轉(zhuǎn)誤差所帶來的誤差，可通過調(diào)整調(diào)心結(jié)構(gòu),，使靶丸定點位于視場中心并采集其白光反射光譜,。重復(fù)以上步驟，可實現(xiàn)靶丸特定位置或圓周輪廓白光反射光譜數(shù)據(jù)的測量,。為減少外界干擾和震動所引起的測量誤差,，該裝置放置于氣浮平臺上，通過高性能的隔振效果,，保證了測量結(jié)果的穩(wěn)定性,。高精度的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu)。蘇州膜厚儀

工作原理是基于膜層與底材反射率及相位差,，通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,。納米級膜厚儀測距

薄膜是一種特殊的二維材料，由分子,、原子或離子沉積在基底表面形成,。近年來，隨著材料科學(xué)和鍍膜技術(shù)的不斷發(fā)展,，厚度在納米量級（幾納米到幾百納米范圍內(nèi)）的薄膜研究和應(yīng)用迅速增加,。與體材料相比，納米薄膜的尺寸很小,，表面積與體積的比值增大,，因而表面效應(yīng)所表現(xiàn)出來的性質(zhì)非常突出，對于光學(xué)性質(zhì)和電學(xué)性質(zhì)等具有許多獨特的表現(xiàn),。納米薄膜在傳統(tǒng)光學(xué)領(lǐng)域中的應(yīng)用越來越廣,，尤其是在光通訊、光學(xué)測量,、傳感,、微電子器件、醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域有更為廣闊的應(yīng)用前景,。納米級膜厚儀測距