常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理：入射的白光光束通過半反半透鏡進入到顯微干涉物鏡后,，被分光鏡分成兩部分,，一個部分入射到固定的參考鏡，一部分入射到樣品表面,，當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后,，再次匯聚產(chǎn)生干涉條紋，干涉光通過透鏡后,，利用電荷耦合器(CCD)可探測整個視場內(nèi)雙白光光束的干涉圖像,。利用Z向精密位移臺帶動干涉鏡頭或樣品臺Z向掃描，可獲得一系列的干涉圖像,。根據(jù)干涉圖像序列中對應(yīng)點的光強隨光程差變化曲線,，可得該點的Z向相對位移；然后,，由CCD圖像中每個像素點光強最大值對應(yīng)的Z向位置獲得被測樣品表面的三維形貌,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以在不同環(huán)境下進行測量,。高速膜厚儀推薦廠家

作為重要元件，薄膜通常以金屬,、合金,、化合物、聚合物等為主要基材,，品類涵蓋了光學(xué)膜,、電隔膜、阻隔膜,、保護膜,、裝飾膜等多種功能性薄膜，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué),、電子,、醫(yī)療、能源,、建材等技術(shù)領(lǐng)域,。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等。納米和亞微米級薄膜主要是基于干涉效應(yīng)調(diào)制的光學(xué)薄膜,，包括各種增透增反膜,、偏振膜、干涉濾光片和分光膜等,。部分薄膜經(jīng)過特殊工藝處理后還具有耐高溫,、耐腐蝕、耐磨損等特性,，對于通訊,、顯示、存儲等領(lǐng)域內(nèi)光學(xué)儀器的質(zhì)量起決定性作用,，例如平面顯示器使用的ITO鍍膜,、太陽能電池表面的SiO2減反射膜等。微米級以上的薄膜以工農(nóng)業(yè)薄膜為主,，多使用聚酯材料,，具有易改性、可回收,、適用范圍廣等特點,。例如6微米厚度以下的電容器膜，20微米厚度以下的大部分包裝印刷用薄膜,，25~38微米厚的建筑玻璃貼膜及汽車貼膜,，以及25~65微米厚度的防偽標牌及拉線膠帶等。微米級薄膜利用其良好的延展性,、密封性,、絕緣性等特性遍及食品包裝,、表面保護、磁帶基材,、感光儲能等應(yīng)用市場,，加工速度快，市場占比高,。國產(chǎn)膜厚儀主要功能與優(yōu)勢白光干涉膜厚儀是用于測量薄膜厚度的一種儀器,，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量。

常用的白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理是：入射的白光光束通過半反半透鏡進入到顯微干涉物鏡,，被分光鏡分成兩部分，一部分入射到固定的參考鏡,，另一部分入射到樣品表面,，當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光再次匯聚后，發(fā)生干涉,，干涉光通過透鏡后,，利用電荷耦合器(CCD)探測雙白光光束的干涉圖像。通過Z向精密位移臺帶動干涉鏡頭或樣品臺Z向掃描,，獲得一系列干涉圖像,。根據(jù)干涉圖像序列中對應(yīng)點的光強隨光程差變化曲線，可得該點的Z向相對位移,；然后,，通過CCD圖像中每個像素點光強最大值對應(yīng)的Z向位置，可測量被測樣品表面的三維形貌,。該系統(tǒng)具有高分辨率和高靈敏度等特點,，廣泛應(yīng)用于微觀表面形貌測量和薄膜厚度測量等領(lǐng)域。

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)缺,，難以一概而論。按照薄膜厚度的增加,，適用的測量方式分別為橢圓偏振法,、分光光度法、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的較薄薄膜,，白光干涉輪廓儀的測量精度較低，分光光度法和橢圓偏振法較適合,。而對于小于200nm的薄膜,，由于透過率曲線缺少峰谷值，橢圓偏振法結(jié)果更加可靠,?；诎坠飧缮嬖淼墓鈱W(xué)薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣，得到待測薄膜厚度,。本章在詳細研究白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案,、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論,。在此基礎(chǔ)上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調(diào)技術(shù)。Michelson干涉儀的光路長度決定了儀器的精度,。

白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術(shù)測量的局限性,。白光掃描干涉法采用白光作為光源，白光作為一種寬光譜的光源,，相干長度較短,，因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時,，有一個確切的零點位置,。當(dāng)測量光和參考光的光程相等時，所有波段的光都會發(fā)生相長干涉,，這時就能觀測到有一個很明亮的零級條紋,，同時干涉信號也出現(xiàn)最大值，通過分析這個干涉信號,，就能得到表面上對應(yīng)數(shù)據(jù)點的相對高度,，從而得到被測物體的幾何形貌。白光掃描干涉術(shù)是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度,。因此，為了提高精度,，就需要更為復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng),，這使得條紋的測量變成一項費力又費時的工作。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的非接觸式測量,；小型膜厚儀詳情

白光干涉膜厚儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)、電子,、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段。高速膜厚儀推薦廠家

通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案,，結(jié)合共振曲線的三個特征參數(shù),，即共振角、半高寬和反射率小值，反演計算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數(shù),。該方案操作簡單,，利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)即可得到共振曲線，從而得到金膜的厚度,。由于該方案為一種強度測量方案,，受環(huán)境影響較大，測量結(jié)果存在多值性問題,，因此研究人員進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析,，從P光和S光之間相位差的變化來實現(xiàn)厚度測量。高速膜厚儀推薦廠家