本章介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法,。該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學(xué)厚度,，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量,，結(jié)合起來即可得到靶丸的折射率和厚度數(shù)據(jù),。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面，為解決白光干涉光譜中波峰位置難以精確確定和單極值點(diǎn)判讀可能存在干涉級次誤差的問題,，提出了利用MATLAB曲線擬合確定極值點(diǎn)波長以及根據(jù)干涉級次連續(xù)性進(jìn)行干涉級次判斷的數(shù)據(jù)處理方法,。通過應(yīng)用碳?xì)?CH)薄膜進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，證明該方法具有較高的測量精度和可靠性,。通過測量反射光的干涉來計(jì)算膜層厚度,，利用膜層與底材的反射率和相位差來實(shí)現(xiàn)測量。小型膜厚儀零售價(jià)格

白光干涉的相干原理早在1975年就被提出,，并在1976年實(shí)現(xiàn)了在光纖通信領(lǐng)域中的應(yīng)用,。1983年，Brian Culshaw的研究小組報(bào)道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用,。隨后在1984年,，報(bào)道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。這項(xiàng)研究成果證明了白光干涉技術(shù)可以用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量,。此后的幾年中,，白光干涉技術(shù)應(yīng)用于溫度、壓力等的研究也相繼被報(bào)道,。自上世紀(jì)90年代以來,，白光干涉技術(shù)得到了快速發(fā)展，提供了更多實(shí)現(xiàn)測量的解決方案,。近年來,，由于傳感器設(shè)計(jì)和研制的進(jìn)步，信號(hào)處理的新方案提出,，以及傳感器的多路復(fù)用等技術(shù)的發(fā)展,，使白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展更加迅速。防水膜厚儀主要功能與優(yōu)勢白光干涉膜厚儀是一種可用于測量薄膜厚度的儀器,，適用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量,。

白光干涉測量技術(shù)，也被稱為光學(xué)低相干干涉測量技術(shù)，使用的是低相干的寬譜光源,，例如發(fā)光二極管,、超輻射發(fā)光二極管等。同所有的光學(xué)干涉原理一樣,，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化，進(jìn)而通過各種解調(diào)方案實(shí)現(xiàn)對待測物理量的測量,。采用寬譜光源的優(yōu)點(diǎn)是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g），所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋,，與零光程差的位置對應(yīng)。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個(gè)可靠的位置的參考值,，從而只用一個(gè)干涉儀即可實(shí)現(xiàn)對被測物理量的測量,，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實(shí)現(xiàn)測量的缺點(diǎn)。同時(shí),，相比于其他測量技術(shù),白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感,、抗干擾能力強(qiáng)、測量的動(dòng)態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單和成本低廉等優(yōu)點(diǎn),。目前，經(jīng)過幾十年的研究與發(fā)展,，白光干涉技術(shù)在膜厚,、壓力、應(yīng)變,、溫度,、位移等等測量領(lǐng)域已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用。

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)缺,，難以一概而論。將各測量特點(diǎn)總結(jié)所示,，按照薄膜厚度的增加,，適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合,。而對于小于200nm的薄膜，由于透過率曲線缺少峰谷值，橢圓偏振法結(jié)果更加可靠,?；诎坠飧缮嬖淼墓鈱W(xué)薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜，通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，得到待測薄膜厚度,。本章在詳細(xì)研究白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上,，分析得到了常用的基于兩個(gè)相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論,。在此基礎(chǔ)上，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的白光干涉測量解調(diào)技術(shù),?？蓽y量大氣壓下薄膜厚度在1納米到1毫米之間。

白光干涉頻域解調(diào)是利用頻域分析解調(diào)信號(hào)的一種方法,。與時(shí)域解調(diào)裝置相比,，測量裝置幾乎相同，只需將光強(qiáng)測量裝置更換為光譜儀或CCD,。由于時(shí)域解調(diào)中接收到的信號(hào)是一定范圍內(nèi)所有波長光強(qiáng)疊加,，因此將頻譜信號(hào)中各個(gè)波長的光強(qiáng)疊加起來即可得到它對應(yīng)的時(shí)域接收信號(hào)。因此,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時(shí)域白光干涉條紋的所有信息,，而且包括了時(shí)域干涉條紋中沒有的波長信息。在頻域干涉中,，當(dāng)兩束相干光的光程差遠(yuǎn)大于光源的相干長度時(shí),，仍然可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，可以將寬譜光變成窄帶光譜,，從而增加光譜的相干長度。這種解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是整個(gè)測量系統(tǒng)中沒有使用機(jī)械掃描部件,，因此在測量的穩(wěn)定性和可靠性方面得到了顯著提高,。常見的頻域解調(diào)方法包括峰峰值檢測法、傅里葉解調(diào)法和傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。光路長度越長,，分辨率越高，但同時(shí)也更容易受到靜態(tài)振動(dòng)等干擾因素的影響,。蘇州膜厚儀推薦廠家

白光干涉膜厚儀是用于測量薄膜厚度的一種儀器,，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量。小型膜厚儀零售價(jià)格

白光干涉法和激光光源相比具有短相干長度的特點(diǎn),，使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉,，因此不會(huì)產(chǎn)生干擾條紋,。同時(shí)，白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置,，避免了干涉級次不確定的問題,。本文基于白光干涉原理對單層透明薄膜厚度測量進(jìn)行了研究，特別是對厚度小于光源相干長度的薄膜進(jìn)行了探究,。文章首先詳細(xì)闡述了白光干涉原理和薄膜測厚原理,，然后在金相顯微鏡的基礎(chǔ)上構(gòu)建了一種型垂直白光掃描系統(tǒng)，作為實(shí)驗(yàn)中測試薄膜厚度的儀器,，并利用白光干涉原理對位移量進(jìn)行了標(biāo)定,。 小型膜厚儀零售價(jià)格