白光干涉測量技術(shù)，也稱為光學(xué)低相干干涉測量技術(shù),，使用的是低相干的寬譜光源，如超輻射發(fā)光二極管,、發(fā)光二極管等,。與所有光學(xué)干涉原理一樣，白光干涉也是通過觀察干涉圖案變化來分析干涉光程差變化,，并通過各種解調(diào)方案實現(xiàn)對待測物理量的測量,。采用寬譜光源的優(yōu)點是，由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g），所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋,，與零光程差的位置對應(yīng)。因此,，中心零級干涉條紋的存在為測量提供了一個可靠的位置參考，只需一個干涉儀即可進行待測物理量的測量，克服了傳統(tǒng)干涉儀不能進行測量的缺點,。同時，相對于其他測量技術(shù),，白光干涉測量方法還具有環(huán)境不敏感、抗干擾能力強,、動態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單和成本低廉等優(yōu)點,。經(jīng)過幾十年的研究與發(fā)展,，白光干涉技術(shù)在膜厚,、壓力,、溫度、應(yīng)變,、位移等領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用,。該儀器的工作原理是通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,，基于反射率和相位差。高精度膜厚儀出廠價

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu) ,，近年來在電子學(xué) ,、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,，薄膜的測試技術(shù)變得越來越重要,。尤其是在厚度這一特定方向上，尺寸很小,，基本上都是微觀可測量,。因此，在微納測量領(lǐng)域中,，薄膜厚度的測試是一個非常重要而且很實用的研究方向,。在工業(yè)生產(chǎn)中,，薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作,。在半導(dǎo)體工業(yè)中,，膜厚的測量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能,、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,，所以準確地測量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。納米級膜厚儀供貨白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析,。

本文研究的鍺膜厚度約為300nm,，導(dǎo)致白光干涉輸出的光譜只有一個干涉峰，無法采用常規(guī)的基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案,，如峰峰值法等,。為此，研究人員提出了一種基于單峰值波長移動的白光干涉測量方案,，并設(shè)計制作了膜厚測量系統(tǒng),。經(jīng)實驗證明，峰值波長和溫度變化之間存在很好的線性關(guān)系,。利用該方案,，研究人員成功測量了實驗用鍺膜的厚度為338.8nm，實驗誤差主要源于溫度控制誤差和光源波長漂移,。該論文通過對納米級薄膜厚度測量方案的研究,，實現(xiàn)了對鍺膜和金膜厚度的測量，并主要創(chuàng)新點在于提出了基于白光干涉單峰值波長移動的解調(diào)方案,，并將其應(yīng)用于極短光程差的測量,。

基于表面等離子體共振傳感的測量方案 ，利用共振曲線的三個特征參量—共振角,、半高寬和反射率小值,，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,，操作方法簡單,。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)，測得金膜在入射光波長分別為632.8nm和652.1nm時的共振曲線,，由此得到金膜的厚度為55.2nm,。由于該方案是一種強度測量方案，測量精度受環(huán)境影響較大,，且測量結(jié)果存在多值性的問題,，所以我們進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實現(xiàn)厚度測量,。廣泛應(yīng)用于電子,、半導(dǎo)體、光學(xué),、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段。

 基于白光干涉光譜單峰值波長移動的鍺膜厚度測量方案研究：在對比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎(chǔ)上,，我們發(fā)現(xiàn)當(dāng)兩干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個干涉峰時,，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。為此,，我們提出了適用于極小光程差并基于干涉光譜單峰值波長移動的測量方案,。干涉光譜的峰值波長會隨著光程差的增大出現(xiàn)周期性的紅移和藍移，當(dāng)光程差在較小范圍內(nèi)變化時,，峰值波長的移動與光程差成正比,。根據(jù)這一原理，搭建了光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)對這一測量解調(diào)方案進行驗證,，得到了光纖端面半導(dǎo)體鍺薄膜的厚度,。實驗結(jié)果顯示鍺膜的厚度為，與臺階儀測量結(jié)果存在,，這是因為薄膜表面本身并不光滑,，臺階儀的測量結(jié)果只能作為參考值。鍺膜厚度測量誤差主要來自光源的波長漂移和溫度控制誤差,。這種膜厚儀可以測量大氣壓下 ,。膜厚儀的原理

隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，其性能和功能會得到提高和擴展,。高精度膜厚儀出廠價

白光干涉在零光程差處,，出現(xiàn)零級干涉條紋，隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高,，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強,，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點,。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有許多相似之處?？梢哉f,，白光干涉實際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加，在頻域上觀察到的就是不同波長對應(yīng)的干涉光強變化曲線,。高精度膜厚儀出廠價