光鏡和參考板組成，光源發(fā)出的光經(jīng)過顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,，一束作為參考光入射到參考鏡并反射，另一束作為測量光入射到樣品表面被反射,，兩束反射光反射到分光棱鏡并發(fā)生干涉,。由于實驗中需要調(diào)節(jié)樣品與被測樣品的角度,，以便更好進行測量,，5XMichelson型干涉物鏡可以通過其配置的兩個旋鈕進行調(diào)節(jié)，旋鈕能夠在較大的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)參考鏡角度,，可以調(diào)節(jié)到理想角度,。光纖在測試系統(tǒng)中負責傳光，將顯微鏡視場干涉信號傳輸?shù)轿⑿凸庾V儀,。系統(tǒng)選用光纖為海洋光學公司生產(chǎn)的高級光纖組件,，光纖連接線的內(nèi)層為硅樹脂包裹的單線鋼圈,，外層為諾梅克斯編織物,，以求更好地減輕應力并起到有效的保護作用。該組件末段是易于操作的金屬環(huán)---高精密度的SMA連接器,。光纖一端與適配器連接,，另一端與微型光譜儀連接,，以將干涉光信號傳入光譜儀中。精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。薄膜膜厚儀供應

使用了迭代算法的光譜擬合法,，其優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入,，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點是不夠?qū)嵱茫摲椒ㄐ枰粋€較好的薄膜的光學模型(包括色散系數(shù),、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng))，但是在實際測試過程中,，薄膜的色散和吸收的公式通常不準確,，尤其是對于多層膜體系，建立光學模型非常困難,，無法用公式準確地表示出來,。在實際應用中只能使用簡化模型，因此,，通常全光譜擬合法不如極值法有效。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求,。防水膜厚儀設備生產(chǎn)隨著技術(shù)的進步和應用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴展,；

自上世紀60年代開始，西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應用基于X及β射線,、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長,，20世紀70年代后,，電渦流,、超聲波,、電磁電容,、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世。90年代中期,，隨著離子輔助、離子束濺射、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)的出現(xiàn),，光學檢測技術(shù)也不斷更新迭代，以橢圓偏振法和光度法為主導的高精度,、低成本,、輕便、高速穩(wěn)固的光學檢測技術(shù)迅速占領(lǐng)日用電器和工業(yè)生產(chǎn)市場,，并發(fā)展出了個性化定制產(chǎn)品的能力,。對于市場占比較大的微米級薄膜，除了要求測量系統(tǒng)具有百納米級的測量準確度和分辨率之外,，還需要在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場下具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力,。

干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學方法 ，是一種高精度的測量技術(shù),。采用光學干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉,，穩(wěn)定性好,，抗干擾能力強,，使用范圍廣等優(yōu)點,。對于大多數(shù)的干涉測量任務，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來研究干涉裝置中待測物理量引入的光程差或者是位相差的變化,，從而達到測量目的,。光學干涉測量方法的測量精度可達到甚至優(yōu)于納米量級,，而利用外差干涉進行測量,，其精度甚至可以達到10-3nm量級[11],。根據(jù)所使用光源的不同，干涉測量方法又可以分為激光干涉測量和白光干涉測量兩大類,。激光干涉測量的分辨率更高，但是不能實現(xiàn)對靜態(tài)信號的測量,，只能測量輸出信號的變化量或者是連續(xù)信號的變化,，即只能實現(xiàn)相對測量,。而白光干涉是通過對干涉信號中心條紋的有效識別來實現(xiàn)對物理量的測量，是一種測量方式,，在薄膜厚度的測量中得到了廣泛的應用?？蓽y量大氣壓下薄膜厚度在1納米到1毫米之間。

采用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時 ,，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長信息即可得出光程差,，不必關(guān)心此波長處的光強大小,，從而降低數(shù)據(jù)處理的難度。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對應的波長來分別求出光程差,，然后再求平均值作為測量光程差,，這樣可以提高該方法的測量精度。但是,，峰峰值法存在著一些缺點：當使用寬帶光源作為輸入光源時,，接收光譜中不可避免地疊加有與光源同分布的背景光,，從而引起峰值處波長的改變,，引入測量誤差。同時,，當兩干涉信號之間的光程差很小,，導致其干涉光譜只有一個干涉峰的時候，此法便不再適用,。隨著技術(shù)的不斷進步和應用領(lǐng)域的拓展,，其性能和功能會得到提高和擴展。薄膜干涉膜厚儀出廠價

隨著技術(shù)的進步和應用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴展,。薄膜膜厚儀供應

基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置，其特征在于：該裝置包括白光光源,、顯微鏡,、分束鏡,、干涉物鏡、光纖傳輸單元,、準直器,、光譜儀、USB傳輸線,、計算機,；光譜儀主要包括六部分,，分別是：光纖入口,、準直鏡、光柵,、聚焦鏡,、區(qū)域檢測器,、帶OFLV濾波器的探測器,；

光源發(fā)出的白光經(jīng)準直鏡擴束準直后成平行光，經(jīng)分束鏡射入Michelson干涉物鏡,，準直透鏡將白光縮束準直后垂直照射到待測晶圓上,，反射光之間相互發(fā)生干涉,，經(jīng)準直鏡后干涉光強進入光纖耦合單元,，完成干涉部分,；

光纖傳輸?shù)母缮嫘盘栠M入光譜儀，計算機定時從光譜儀中采集光譜信號,，獲取諸如光強,、反射率等信息，計算機對這些信息進行信號處理,，濾除高頻噪聲信息,，然后對光譜信息進行歸一化處理，利用峰值對應的波長值,，計算晶圓膜厚,。 薄膜膜厚儀供應