白光干涉法和激光光源相比具有短相干長(zhǎng)度的特點(diǎn),，使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉,，因此不會(huì)產(chǎn)生干擾條紋,。同時(shí),，白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置,，避免了干涉級(jí)次不確定的問題。本文基于白光干涉原理對(duì)單層透明薄膜厚度測(cè)量進(jìn)行了研究,，特別是對(duì)厚度小于光源相干長(zhǎng)度的薄膜進(jìn)行了探究,。文章首先詳細(xì)闡述了白光干涉原理和薄膜測(cè)厚原理，然后在金相顯微鏡的基礎(chǔ)上構(gòu)建了一種型垂直白光掃描系統(tǒng),，作為實(shí)驗(yàn)中測(cè)試薄膜厚度的儀器,，并利用白光干涉原理對(duì)位移量進(jìn)行了標(biāo)定。 白光干涉膜厚儀可以配合不同的軟件進(jìn)行分析和數(shù)據(jù)處理,，例如建立數(shù)據(jù)庫(kù),、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等。品牌膜厚儀招商加盟

白光干涉在零光程差處 ,，出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋,，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,，疊加的整體效果使條紋對(duì)比度下降,。測(cè)量精度高，可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量,采用白光干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)的抗干擾能力強(qiáng),，動(dòng)態(tài)范圍大,，具有快速檢測(cè)和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有很多的共同之處,。可以說,，白光干涉實(shí)際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時(shí)域上的相干疊加,，在頻域上觀察到的就是不同波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的干涉光強(qiáng)變化曲線。本地膜厚儀工廠隨著技術(shù)的進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴(kuò)展,；

對(duì)同一靶丸的相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉實(shí)驗(yàn)，如圖4-3所示,。通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上移動(dòng),，測(cè)量光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底后直接反射回參考鏡的光線之間的光程差。顯然,，越偏離靶丸中心的光線測(cè)得的有效壁厚越大,，其光程差也越大，但這并不表示靶丸殼層的厚度,。只有當(dāng)垂直穿過靶丸中心的光線測(cè)得的光程差才對(duì)應(yīng)于靶丸的上,、下殼層的厚度。因此，在進(jìn)行白光垂直掃描干涉實(shí)驗(yàn)時(shí),，需要選擇穿過靶丸中心的光線位置進(jìn)行測(cè)量,，這樣才能準(zhǔn)確地測(cè)量靶丸殼層的厚度。此外,，通過控制干涉物鏡在垂直方向上移動(dòng),，可以測(cè)量出不同位置的厚度值，從而得到靶丸殼層厚度的空間分布情況,。

自上世紀(jì)60年代開始,，西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用基于X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測(cè)厚系統(tǒng),。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長(zhǎng),，20世紀(jì)70年代后，電渦流,、超聲波,、電磁電容、晶體振蕩等多種膜厚測(cè)量技術(shù)相繼問世,。90年代中期,，隨著離子輔助、離子束濺射,、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)的出現(xiàn)，光學(xué)檢測(cè)技術(shù)也不斷更新迭代,，以橢圓偏振法和光度法為主導(dǎo)的高精度,、低成本、輕便,、高速穩(wěn)固的光學(xué)檢測(cè)技術(shù)迅速占領(lǐng)日用電器和工業(yè)生產(chǎn)市場(chǎng),，并發(fā)展出了個(gè)性化定制產(chǎn)品的能力,。對(duì)于市場(chǎng)占比較大的微米級(jí)薄膜,，除了要求測(cè)量系統(tǒng)具有百納米級(jí)的測(cè)量準(zhǔn)確度和分辨率之外，還需要在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)下具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力,。白光干涉膜厚儀需要校準(zhǔn),。

自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來 ，人們?cè)诶碚摵蛯?shí)驗(yàn)上展開了討論和研究,。結(jié)果表明,，動(dòng)態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器，應(yīng)用于光學(xué)信號(hào)處理和加密領(lǐng)域,。在論文中,，我們提出的基于白光干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案，可以用于當(dāng)光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個(gè)干涉峰時(shí)的信號(hào)解調(diào)，實(shí)現(xiàn)納米薄膜厚度測(cè)量,。在頻域干涉中,，當(dāng)干涉光程差超過光源相干長(zhǎng)度的時(shí)候，仍然可以觀察到干涉條紋,。出現(xiàn)這種現(xiàn)象的原因是白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,，每一列單色光的相干長(zhǎng)度都是無(wú)限的。當(dāng)我們使用光譜儀來接收干涉光譜時(shí),，由于光譜儀光柵的分光作用,，將寬光譜的白光變成了窄帶光譜，從而使相干長(zhǎng)度發(fā)生變化,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的薄膜進(jìn)行測(cè)量,；品牌膜厚儀設(shè)備生產(chǎn)

總結(jié)，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣,、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測(cè)量?jī)x器,。品牌膜厚儀招商加盟

光學(xué)測(cè)厚方法結(jié)合了光學(xué)、機(jī)械,、電子和計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù),，以光波長(zhǎng)為測(cè)量基準(zhǔn)，從原理上保證了納米級(jí)的測(cè)量精度,。由于光學(xué)測(cè)厚是非接觸式的測(cè)量方法,，因此被用于精密元件表面形貌及厚度的無(wú)損測(cè)量。針對(duì)薄膜厚度的光學(xué)測(cè)量方法,，可以按照光吸收,、透反射、偏振和干涉等不同光學(xué)原理分為分光光度法,、橢圓偏振法,、干涉法等多種測(cè)量方法。不同的測(cè)量方法各有優(yōu)缺點(diǎn)和適用范圍,。因此,，有一些研究采用了多通道式復(fù)合測(cè)量法，結(jié)合多種測(cè)量方法,，例如橢圓偏振法和光度法結(jié)合的光譜橢偏法,，彩色共焦光譜干涉和白光顯微干涉的結(jié)合法等。品牌膜厚儀招商加盟