光譜共焦測量技術由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快、實時性高,、對被測表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學,、材料科學、半導體制造,、表面工程研究,、精密測量、3C電子等領域得到大量應用,。本次測量場景使用的是創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現(xiàn)0.025μm的重復精度,，±0.02% of F.S.的線性精度， 30kHz的采樣速度 ,，以及±60°的測量角度,，能夠適應鏡面、透明,、半透明、膜層,、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面，支持485,、USB,、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,！高采樣速率光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)
光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光,。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差（特定距離）,。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀,，該光譜儀檢測并處理光譜變化,。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且?guī)缀跖c目標材料分開運行,。在傳感器的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)了一個非常小的光斑尺寸,。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面，以及測量窄孔,、小間隙和空腔 ,。線陣光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好光譜共焦位移傳感器在微機電系統(tǒng)、醫(yī)學,、材料科學等領域中有著廣泛的應用,。
光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來，其無需軸向掃描,，直接由波長對應軸向距離信息,，從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達 nm 量級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低，允許被測表面有更大的傾斜角 ,，測量速度快,，實時性高，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，大量應用于精密定位,、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領域,。本文在論述光譜共焦技術原理的基礎上,，列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用，探討共焦技術在未來精密測量的進一步應用,，展望其發(fā)展前景,。
基于光譜共焦技術的手機曲面外殼輪廓測量，是一種利用光譜共焦技術對手機曲面外殼輪廓進行非接觸式測量的方法,。該技術主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點,，實現(xiàn)對表面高度的快速、準確測量 ,。通過采集不同波長的反射光譜信息,，結合光譜共焦技術提高空間分辨率，可以測量出手機曲面外殼上不同位置的高度值,，得到完整的三維輪廓圖,。相比傳統(tǒng)的機械測量和影像測量方法，基于光譜共焦技術的手機曲面外殼輪廓測量具有非接觸,、快速,、高精度、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢,，可以適用于手機外殼,、香水瓶等曲面形狀復雜的產(chǎn)品的測量和質量控制。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,，對于研究材料的振動特性具有重要意義,。
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現(xiàn)0.025 μm的重復精度,，±0.02% of F.S.的線性精度,，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度,，能夠適應鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面，支持485,、USB,、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。,。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量 ,。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差,。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面，自身有一定的曲率,，對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大）光譜共焦技術的應用可以提高生產(chǎn)效率和質量,。原裝光譜共焦出廠價
光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬,、陶瓷,、塑料等。高采樣速率光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)
在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面,，研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償,，在機器視覺技術方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面,，研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優(yōu)缺點,，并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗，為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法 ,。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統(tǒng)誤差測算,，以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差，并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況,，這對于今后光譜共焦傳感器的應用和科學研究具有重要意義,。高采樣速率光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)