光譜共焦位移傳感器包括光源,、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光,，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光,，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置,。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去，這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀,。因此,，只有位于樣品表面的焦點(diǎn)位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長(zhǎng)的光分離出來,，由控制箱中的光電組件識(shí)別并獲取樣品的軸向位置,。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求,。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同材料的位移測(cè)量,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,！高精度光譜共焦價(jià)格

光譜共焦測(cè)量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光,。每個(gè)波長(zhǎng)都有一定的偏差（特定距離）進(jìn)行工廠校準(zhǔn),。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。通過共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會(huì)被光譜儀檢測(cè)并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進(jìn)行測(cè)量,。共焦測(cè)量提供納米級(jí)分辨率,，并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開運(yùn)行。傳感器的測(cè)量范圍內(nèi)有一個(gè)非常小的,、恒定的光斑尺寸,。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁的表面，以及測(cè)量窄孔,、小間隙和空腔 ,。高速光譜共焦常用解決方案激光位移傳感器可分為點(diǎn)、線兩種形式,。

硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線性精度,，10kHz的測(cè)量速度，以及±60°的測(cè)量角度,，能夠適應(yīng)鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,，支持485,、USB、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。我們主要測(cè)量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量,。柵線測(cè)量方法：首先我們將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量 ，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差,。二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)掃描測(cè)量（由于柵線不是一個(gè)平整面,，自身有一定的曲率，對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大）,。

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的技術(shù),，在測(cè)量過程中無需軸向掃描，直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息,，因此可以大幅提高測(cè)量速度,。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達(dá)到納米級(jí),。由于光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角,、測(cè)量速度快,、實(shí)時(shí)性高，因此迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器,，大量應(yīng)用于精密定位,、薄膜厚度測(cè)量、微觀輪廓精密測(cè)量等領(lǐng)域,。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理,，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計(jì)量測(cè)試中的典型應(yīng)用。同時(shí) 對(duì)共焦技術(shù)在未來精密測(cè)量的進(jìn)一步應(yīng)用進(jìn)行了探討,，并展望了其發(fā)展前景,。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測(cè)量,。

光譜共焦傳感器使用復(fù)色光作為光源,，可以達(dá)到微米級(jí)精度，并具備對(duì)漫反射或鏡反射被測(cè)物體的測(cè)量功能,。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)透明物體的單向厚度測(cè)量，其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),，避免光路遮擋,，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測(cè)量。在測(cè)量透明物體的位移時(shí),，由于被測(cè)物體的上下兩個(gè)表面都會(huì)反射,，而傳感器接收到的位移信號(hào)是通過其上表面計(jì)算出來的，從而可能引起一定誤差 ,。本文通過對(duì)平行平板位移測(cè)量的誤差分析,，探討了這一誤差的來源和影響因素。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué),、醫(yī)學(xué),、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域；高速光譜共焦常用解決方案

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量,，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義,；高精度光譜共焦價(jià)格

光譜共焦傳感器使用復(fù)色光作為光源 ，可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精度的漫反射或鏡反射被測(cè)物體測(cè)量功能,。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)透明物體的單向厚度測(cè)量,，其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu)，避免光路遮擋,，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測(cè)量,。在測(cè)量透明物體的位移時(shí)，由于被測(cè)物體的上下兩個(gè)表面都會(huì)反射,，傳感器接收到的位移信號(hào)是通過其上表面計(jì)算出來的,，可能會(huì)引起一定誤差。本文分析了平行平板位移測(cè)量誤差的來源和影響因素,。高精度光譜共焦價(jià)格