光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 ,。光源發(fā)出一束白光,，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組 ，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置,。當樣品位于焦點范圍內(nèi)時,，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀,。因此,，只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長的光分離出來,，由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置,。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測量要求,。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,！高精度光譜共焦價格

光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光,。每個波長都有一定的偏差（特定距離）進行工廠校準,。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。通過共焦孔徑反射到目標表面的光會被光譜儀檢測并處理,。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進行測量,。共焦測量提供納米級分辨率，并且?guī)缀跖c目標材料分開運行,。傳感器的測量范圍內(nèi)有一個非常小的,、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁的表面,，以及測量窄孔,、小間隙和空腔 。高速光譜共焦常用解決方案激光位移傳感器可分為點,、線兩種形式,。

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復精度,，±0.02% of F.S.的線性精度,，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度,，能夠適應鏡面,、透明、半透明、膜層,、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面，支持485,、USB,、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,，所以這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量 ,，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面,，自身有一定的曲率，對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大）,。

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎上發(fā)展而來的技術(shù),，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息,，因此可以大幅提高測量速度,。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快、實時性高,，因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，大量應用于精密定位、薄膜厚度測量,、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域,。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用,。同時 對共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應用進行了探討,，并展望了其發(fā)展前景。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量,、形變和破壞等參數(shù)的測量,。

光譜共焦傳感器使用復色光作為光源，可以達到微米級精度，并具備對漫反射或鏡反射被測物體的測量功能,。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),，避免光路遮擋,，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。在測量透明物體的位移時,，由于被測物體的上下兩個表面都會反射,，而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的，從而可能引起一定誤差 ,。本文通過對平行平板位移測量的誤差分析,，探討了這一誤差的來源和影響因素。光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學,、醫(yī)學,、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域；高速光譜共焦常用解決方案

光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量,，對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義,；高精度光譜共焦價格

光譜共焦傳感器使用復色光作為光源 ，可以實現(xiàn)微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能,。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),，避免光路遮擋,，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。在測量透明物體的位移時,，由于被測物體的上下兩個表面都會反射,，傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的，可能會引起一定誤差,。本文分析了平行平板位移測量誤差的來源和影響因素,。高精度光譜共焦價格