當(dāng)光線射到半透半反膜上時(shí),，一部分光線進(jìn)行透射到下三棱鏡上，一部分光線進(jìn)行反射,，反射到背向所述反光鏡的一面,，在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進(jìn)行涂黑處理從而成為啞光面，當(dāng)光被半透半反光學(xué)鏡反射到啞光面上時(shí),，被啞光面吸收,，因此可以減少整個(gè)系統(tǒng)的雜散光，提高信噪比,。由于半透半反膜的厚度很小,，因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小，因此可認(rèn)為,，多色光從下三棱鏡射出時(shí),，基本不發(fā)生位置偏移，從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合,。這樣實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長共光軸,，而且不發(fā)生光軸偏移,，有利于后續(xù)對(duì)多色光進(jìn)行色散和聚焦。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性,。泰州哪些光譜共焦位移傳感器

套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱設(shè)置。進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm,。進(jìn)一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm,。進(jìn)一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑,、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù),。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量,。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射,、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別,。?？诠庾V共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景,。

通過在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域,。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。因此,可以容易地將各測(cè)量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域,。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處,。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處,。通過將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器,。

光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間,。機(jī)殼設(shè)置有兩層,，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層,，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度,、非接觸式和抗溫度,、抗振動(dòng)等效應(yīng)。

本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1,、該系統(tǒng)采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對(duì)采集的光波進(jìn)行采集分析2,、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于產(chǎn)業(yè)化,測(cè)量精度高,能對(duì)有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進(jìn)行測(cè)量3,、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物適應(yīng)性強(qiáng),適用于凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù):4,、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射,、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別,。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)用性強(qiáng),不僅實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測(cè)量精度,而且適用于具有高深寬比,、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量。它利用光譜共焦技術(shù)來測(cè)量物體的微小位移,，具有亞微米級(jí)的高精度,。哈爾濱光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)

它使用光譜共焦技術(shù)來測(cè)量物體的微小位移，達(dá)到亞微米級(jí)的高精度,。泰州哪些光譜共焦位移傳感器

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間,，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間,，濾光片用于過濾紅外線,，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度,。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔,，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接,；這樣,，通過沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓,，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖,，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位,。泰州哪些光譜共焦位移傳感器