進一步,，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體,，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學(xué)鏡,，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方,；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光,，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步,，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡,，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜,，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等,。它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別,。滄州光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理

接收光纖,，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光,；光譜儀,，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體,，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,；半透半反光學(xué)鏡，所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方,；反光鏡,，所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性和效率。

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,，光源耦合器作為單獨結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開設(shè)置,。提示組件包括在光源耦合器內(nèi)，通過卡扣可拆卸設(shè)置,，用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件,；發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈,，也可為其他可見光光源,，當(dāng)探頭操作正常且被測物體在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件,，發(fā)光件發(fā)出綠色光,，提醒使用者操作正常，可以繼續(xù)操作,。當(dāng)探頭操作不正?；虮粶y物體不在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件,，發(fā)光件發(fā)出紅光,，提示使用者操作出現(xiàn)問題，需要更正,。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,，增加便利性。

在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù),。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法,。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學(xué)頭,、分光器和位置計算部,。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光,。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測量精度,。

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系,；光譜儀將波長,、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移,，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程,；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷,。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義,。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好

光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,，對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。滄州光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間,，固定設(shè)置有濾光片,，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線,，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔,，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部,，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣,，通過沉孔的設(shè)置,，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖,，從而影響影響導(dǎo)光光纖,，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。滄州光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理