本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,，光源耦合器作為單獨(dú)結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開設(shè)置,。提示組件包括在光源耦合器內(nèi)，通過卡扣可拆卸設(shè)置，用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件,；發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi),。發(fā)光件為雙色LED燈，也可為其他可見光光源,，當(dāng)探頭操作正常且被測物體在有效測量區(qū)域時(shí),，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出綠色光,，提醒使用者操作正常,，可以繼續(xù)操作。當(dāng)探頭操作不正?；虮粶y物體不在有效測量區(qū)域時(shí),，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出紅光,，提示使用者操作出現(xiàn)問題,，需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,，增加便利性,。該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量,。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品使用誤區(qū)

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,，接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，從而獲取被測物體空間位置信息,。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,，激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種,。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息,，使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過設(shè)備機(jī)械運(yùn)動(dòng)及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息,。因此,，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。,。,。南通光譜共焦位移傳感器調(diào)試光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué),、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域,。

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片,，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間,，濾光片用于過濾紅外線,，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度,。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部,，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接,；這樣，通過沉孔的設(shè)置,，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓,，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖,，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位,。

本實(shí)用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進(jìn)行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量,。為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組,、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋,、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡,、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道,、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器,。

進(jìn)一步,，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,； 半透半反光學(xué)鏡,，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡,，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,。進(jìn)一步,，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,，膠合面鍍有半透半反膜,，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。成都通信光譜共焦位移傳感器

該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量,。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品使用誤區(qū)

根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述分光器包括設(shè)置有所述多個(gè)光入射口的光入射面，以及所述多個(gè)光入射口設(shè)置在包括所述線方向和所述預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上,。根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,，在針對所述多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個(gè)受光區(qū)域與分別對應(yīng)于所述多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個(gè)光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品使用誤區(qū)