本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散,，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向,，S方向)變窄，而在豎直方向(即,，子午方向,，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向,，S方向)變寬,，而在豎直方向(即，子午方向,，T方向)變窄),，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準(zhǔn)確度,；由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形,，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度,；不僅如此,，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬,，所以光斑與像元之間的接觸面積增大,，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因?yàn)檎駝踊驒C(jī)械變形等隨帶來的不良影響,；此外,，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度,，節(jié)省制造和維護(hù)成本,；無論是在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療診斷還是科學(xué)研究,，它都發(fā)揮著巨大作用,，為我們提供了準(zhǔn)確而可靠的測量數(shù)據(jù)。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)
進(jìn)一步地,，所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手,；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接,，另一端與所述電子測量儀抵接,；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。進(jìn)一步地,，所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置,；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,，另一端抵接于所述橫向蝸桿上,。 進(jìn)一步地，所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器,；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上,，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。
優(yōu)點(diǎn)在于：1,、通過所述電子千分表,，使得所述激光位移傳感器的檢驗(yàn)精度極大提高。2,、通過所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌,，簡化了檢驗(yàn)流程、當(dāng)設(shè)備閑置時(shí)收縮導(dǎo)軌可節(jié)約占地面積,。 無錫激光位移傳感器行情它們的穩(wěn)定性使得測量結(jié)果具有較高的重復(fù)性和可信度,。
非接觸式激光平面檢測采用的是集光、機(jī)電一體化的測量設(shè)備系統(tǒng),，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測量的新型位移檢測裝置,，具有分辨率高，線性度高和穩(wěn)定性好等特點(diǎn),，可實(shí)現(xiàn)對對象物的高精度,、高可靠性的測量。本文中定性檢測試驗(yàn)較好地反映出對象物平面實(shí)際起伏情況,，定量檢測試驗(yàn)結(jié)果達(dá)到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求,。該系統(tǒng)能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景,。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,，具有非接觸、高精度,、穩(wěn)定性好,、可自動化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機(jī)器人視覺,、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度,。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離,，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波,、激光等形式的非接觸式,。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器,，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定,，例如可以對微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測定,，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度,。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像,，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng),，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測。它具有較長的使用壽命,，能夠長時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行,。
針對相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器,，能夠在不影響測量精度的情況下,，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對振動,、機(jī)械變形等不良影響,。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器,。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器,、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束,，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件,。其中，在對成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí),，解析結(jié)果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下,，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,，MTFT＞MTFS,；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值,，MTFT為子午方向上的MTF值,。進(jìn)一步地，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm,，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS＞MTFT×10,；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较?，則MTFT＞MTFS×10。[0015]可選地,，空間頻率為62.5lp/mm,，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFS≥0.5,，MTFT＜0.05,；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较颍瑒tMTFT≥0.5,，MTFS＜0.05,。非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng)，以滿足新的測量要求并提高測量的準(zhǔn)確性和分辨率,。閔行區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨
光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測量儀器,，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測量。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如,，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1,、聚焦透鏡2、窗口玻璃3,、帶通濾光片5,、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8,。其中,，該激光位移傳感器用于對被測物體4進(jìn)行測量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中,，省略了激光位移傳感器的外殼,。實(shí)際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上,，供激光器所發(fā)出的光通過,。激光位移傳感器的工作過程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后,，照射在被測物體4的表面形成一個(gè)測量光斑,，激光束可以垂直入射到被測物體4表面(即垂直入射)，也可與被測物體4表面成一定的角度(即斜入射),。該測量光斑由成像物鏡6成像,，并在感光元件7形成測量信號。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)