接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光；光譜儀,，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,；半透半反光學(xué)鏡,，所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡,，所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響,，提高測量精度,。溫州直銷光譜共焦位移傳感器

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口被設(shè)置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行,。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處,。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處,。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。安徽哪些光譜共焦位移傳感器該傳感器可以用于微納加工,、生物醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。

本實(shí)用新型提供一種光譜共焦位移傳感器,，包括光源耦合器，入射光纖,，光譜共焦位移傳感探頭,，接收光纖，光譜儀,，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。通過光譜共焦工作原理,，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。1.一種光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，包括有：光源耦合器,，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光,；入射光纖,，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光,；光譜共焦位移傳感探頭,，所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端，所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,，并對被測物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo),；

隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運(yùn)而生,。超精密的位移傳感器精度可達(dá)到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當(dāng)被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實(shí)現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注,。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標(biāo)定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導(dǎo)致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量,。該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量,。

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片,，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線,，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度,。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔,，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部,，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣,，通過沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓,，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖,，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位,。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性和效率,。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器供應(yīng)

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量,，對于研究材料的性能具有重要意義。溫州直銷光譜共焦位移傳感器

此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點(diǎn)所反射的可見光會聚到光纖處,。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測量點(diǎn)上且被測量點(diǎn)反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處,。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點(diǎn)反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光,。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點(diǎn)。因此,使被測量點(diǎn)反射的綠色光G會聚到光纖處,。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測量光經(jīng)由光纖射出,。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點(diǎn)的位置處于一對一關(guān)系,。溫州直銷光譜共焦位移傳感器