根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面,，以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,，在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個受光區(qū)域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域,。它可以測量物體微小的位移，精度高達亞微米級別,。浙江通信光譜共焦位移傳感器

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系,；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程，通過光譜共焦工作原理,，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。哪些光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量,。

8.根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于,，所述機殼設置有兩層,，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層,，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡,，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于,，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件,，所述發(fā)光件設置在光源耦合器中,；導光光纖,，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光,。10.根據(jù)權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述入射光纖,，接收光纖,，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內(nèi),。

1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源,、Y型光纖、光譜共焦透鏡組,、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋,、盒體、兩個雙凸球面鏡,、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設置有光路通道,、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內(nèi),且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔,。3.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設置,。4.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),，如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量,。

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器,。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面,。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器,。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,，多個受光區(qū)域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域,。該傳感器的應用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。金華如何光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,，對于研究材料的力學性能具有重要意義,。浙江通信光譜共焦位移傳感器

6.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于,，所述光譜儀包括有機殼,，固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,，所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光,。7.根據(jù)權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調(diào)整的準直透鏡組,，所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間,。浙江通信光譜共焦位移傳感器