系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個系統(tǒng)由上位機(jī),、激光位移傳感器和平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器,、感測頭和監(jiān)視器組成。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)主要由平移臺運(yùn)動控制器,、驅(qū)動器,、電源和二維電動平移臺組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示,。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺,。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理。參考距離根據(jù)被測對象物的變化可測量范圍為2 mm,，基準(zhǔn)距離為30 mm,，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達(dá)到滿量程的0.3％,，即精度達(dá)到6μm,。激光位移傳感器在金屬行業(yè)的應(yīng)用案例。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

所述可伸縮導(dǎo)軌1包括一電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11,、一No.1支撐件15,、一第二支撐件16、一滑動輪12,、一伸縮制動開關(guān)13以及一控制面板14,；所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11包括一伺服電機(jī)(未圖示)、一雙直線導(dǎo)軌111以及一絲桿(未圖示),，所述絲桿設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111內(nèi)部,，所述絲桿與所述雙直線導(dǎo)軌111動聯(lián)接，所述伺服電機(jī)設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111的末端且與所述絲桿連接,，所述伺服電機(jī)通過所述絲桿聯(lián)動所述雙直線導(dǎo)軌111進(jìn)行伸縮；所述No.1支撐件15安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11固定端的底部,，所述第二支撐件16安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11可伸縮端的底部,；所述滑動輪12設(shè)于所述第二支撐件16的底部，所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11可通過所述滑動輪12進(jìn)行伸縮,；所述伸縮制動開關(guān)13設(shè)于所述第二支撐件16的側(cè)面,，用于伸縮制動的開啟與關(guān)閉；所述控制面板14與所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11電連接,，所述控制面板14用于控制所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離,。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求它可以用于測量物體的形狀和輪廓，以提供準(zhǔn)確的幾何信息,。

傳統(tǒng)的接觸式平面檢測精度低,、穩(wěn)定性差及對對象物檢測條件要求苛刻,，已逐漸被現(xiàn)代非接觸式平面檢測所替代。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)以其高精度,、高分辨率及不受對象物材質(zhì),、顏色或傾斜度的影響等優(yōu)點(diǎn)，可對任何對象物進(jìn)行平面檢測,。介紹系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和激光位移傳感器的工作機(jī)理,，并進(jìn)行平面定性檢測和定量檢測試驗(yàn)，用OpenGI,。繪制及擬合三維曲面,。試驗(yàn)結(jié)果表明，該系統(tǒng)平面檢測結(jié)果較好地反映出對象物平面起伏情況,，并且達(dá)到系統(tǒng)的精度要求,。

在感光元件的多個感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT,、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件,；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件,，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件,，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上,，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件,。激光位移傳感器可以測量位移,、厚度、振動,、距離,、直徑等精密的幾何測量。

激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響,，為了減小測量誤差,，在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求,，半導(dǎo)體激光器體積小,、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求，但其光束質(zhì)量并不理想,，需要對其進(jìn)行光束整形,。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發(fā)散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布,，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm,，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規(guī)則,，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm,。因此，在不允許能量損失的情況下,，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573,；但由于光束的快軸能量呈高斯分布，通常取半寬度(FWHM)為20°,，此時(shí)NA=0.342,。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些，但考慮到工藝問題,，不宜過小,，選定為2.5mm。為了便于設(shè)計(jì),，將系統(tǒng)倒置,，整個系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm，像方NA=0.342,，像距l(xiāng)′=2.5mm,，物距l(xiāng)=40～60mm，焦距f=3～4mm,。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測物體的位移變化,，提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量,，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中,。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

如權(quán)利要求2所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu),、一電子測量儀以及一微調(diào)平臺,；所述微調(diào)平臺設(shè)于所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺的末端向上設(shè)有一延伸部,；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺的前端,；所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu),。如權(quán)利要求3所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,，其特征在于：所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿,、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手,；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測量儀抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接,。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求