光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,，提示組件包括有：發(fā)光件,，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中,；導(dǎo)光光纖,，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光,。進(jìn)一步，入射光纖,，接收光纖,，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi),。采用上述方案的有益效果是：本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,，通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置,，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),，對(duì)于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義,。南通光譜共焦位移傳感器誠(chéng)信企業(yè)推薦

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚,、明確,，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解,，此處所描述的具體實(shí)施例only用以解釋本實(shí)用新型,，并不用于限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型提出一種光譜共焦位移傳感器,，包括光源耦合器1000,，所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng),，也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光,，還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光，光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當(dāng)調(diào)節(jié),，同時(shí)通過(guò)反饋控制實(shí)現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的,、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測(cè)量更加穩(wěn)定,；光源耦合部分設(shè)置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過(guò),對(duì)無(wú)效的紅外光和熱量進(jìn)行過(guò)濾,避免進(jìn)入其他部件而造成熱變形,，因此，對(duì)整體系統(tǒng)的性能有改善作用,。鄭州國(guó)內(nèi)光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器是一種高精度,、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景,。

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì),。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置,。換句話(huà)說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器,。射出綠色光作為測(cè)量光和,。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束:多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線(xiàn)傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線(xiàn)傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束中的各個(gè)測(cè)量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線(xiàn)傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置,。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),，如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測(cè)量。

被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,，光譜曲線(xiàn)的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng),、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,，通過(guò)光譜波峰反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程,；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過(guò)光譜共焦工作原理,，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué),、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域,。鄭州國(guó)內(nèi)光譜共焦位移傳感器

該傳感器利用光路中的光譜信息實(shí)現(xiàn)對(duì)位移的測(cè)量,。南通光譜共焦位移傳感器誠(chéng)信企業(yè)推薦

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度,，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移,，而波長(zhǎng)不同，其橫向偏移不相等,，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離,，經(jīng)過(guò)色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線(xiàn)也不是一條直線(xiàn),，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度,。因此,，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長(zhǎng)共光軸,，不發(fā)生光軸偏移,，即發(fā)射光線(xiàn)和接收光線(xiàn)沿光軸完全對(duì)稱(chēng)，而且沒(méi)有垂直光軸方向的偏移,，可以更好的消除像差,，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性,。南通光譜共焦位移傳感器誠(chéng)信企業(yè)推薦