被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理,，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系,；光譜儀將波長,、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程,，通過光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量,。常用光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

將光纖和光纖連接至白色LED,。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個(gè)白色LED 向光纖和射出白色光W,。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個(gè)光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等,。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測量光進(jìn)行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖,。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部,。唐山防水光譜共焦位移傳感器光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測量精度,。

在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù),。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個(gè)光學(xué)頭,、分光器和位置計(jì)算部,。光源部射出具有不同波長的多個(gè)光束。多個(gè)光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,，并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光,。

準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置，且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點(diǎn),。這樣,，使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)一步減小雜散光,。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡單,，易于加工裝配和調(diào)整，同時(shí)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點(diǎn),；例如,，軸向色散與波長產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系，有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運(yùn)算速度,。本實(shí)用新型的光譜儀包括有機(jī)殼,，在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,，棱鏡組用于對反射光進(jìn)行色散,，在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對色散后的光進(jìn)行聚焦,，位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光,。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式,、抗溫度,、抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，從而獲取被測物體空間位置信息,。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,，激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段，并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理,，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助,。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快,、精度高,、測量光斑小,、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測量特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域,。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測設(shè)備中,，國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進(jìn)口。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測試,、微納加工,、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。如何光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對不同材料的位移測量,，包括金屬,、陶瓷、塑料等,。常用光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

采用入射光纖和接收光纖分離的方式,，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾,，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比,；而且通過設(shè)置發(fā)射光和反射光的單獨(dú)通道，光路更順暢,，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時(shí)不會(huì)出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號(hào)的干擾和能量損失,。而傳統(tǒng)的光路設(shè)置過程中,，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖,，形成Y型光纖,，這樣會(huì)產(chǎn)生內(nèi)部串?dāng)_，降低信噪比,，影響有效信號(hào)的提取和整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性,。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨(dú)進(jìn)行設(shè)置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題,，使光的傳播更加穩(wěn)定,。常用光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家