進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體,，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,； 半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光,，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,。進一步，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡,，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置,，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。該傳感器可用于微納制造,、生物醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。泰州如何光譜共焦位移傳感器

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進行保護,，易于想到的是,，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀,。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡,，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射,，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上,，半透半反光學(xué)鏡對反射光進行一半透射，一半反射,；泰州如何光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量,，對于研究材料的性能具有重要意義。

位于沉孔的開口端,，通過粘接固定設(shè)置有透光鏡,，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì)，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,，平面透光鏡的設(shè)置可以對導(dǎo)光光纖的出光端進行保護,，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外,，使光的指示范圍更廣,，更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分,，包括有上殼體和下殼體,，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接,，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上,；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時,，不可避免的會產(chǎn)生熱量,，通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙,，導(dǎo)光光纖的熱量大部分會傳導(dǎo)到上殼體上,，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,，提高探頭精度,。

通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量。多個光學(xué)頭可以是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭,。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量,。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光,。使從多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束,。基于線傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置,。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量,。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),，如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量,。

易于想到的是，發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,，如當(dāng)被測物體放置在efficient測量區(qū)域但不是best位置時,，發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,，導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,，preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對發(fā)光件的發(fā)光面，探頭殼體上開設(shè)有插槽,，導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,，導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁，從而實現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,，當(dāng)手握探頭殼體進行位置測量時,，方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光，通過指示光的不同顏色,，從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài),。該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量,。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好

光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響,，提高測量精度,。泰州如何光譜共焦位移傳感器

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng),。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口被設(shè)置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處,。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處,。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。泰州如何光譜共焦位移傳感器