根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,,其特征在于,,在進行解析時,,空間頻率為62.5lp/mm,,如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,,則MTFS≥0.5,,MTFT<0.05,;如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,,則MTFT≥0.5,,MTFS<0.05。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,,其特征在于,,進一步包括:反光元件,所述反光元件設(shè)置在所述成像物鏡的出射光路上,,所述成像物鏡的出射光經(jīng)所述反光元件反射后,,入射到所述感光元件。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,,其特征在于,,進一步包括:帶通濾光片,設(shè)置于所述成像物鏡的入射光路上,。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,,其特征在于,進一步包括:聚焦透鏡,,設(shè)置于所述激光器的出射光路上,。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的激光位移傳感器,其特征在于,,所述感光元件為線陣感光元件,,所述線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列,該直線的延伸方向為所述多個感光單元的主要排列方向,。它可以用于測量機械零件的位移,,以確保其精確性和穩(wěn)定性。普陀區(qū)激光位移傳感器常見問題
根據(jù)物體表面的散射特性,,可確定入射光與成像透鏡光軸的夾角,。激光入射到被測物體表面,散射光強度成橢球型分布[6],。當入射光垂直入射時,,α值越小,成像透鏡接收到的散射光強度越大,但角度過小對探測器分辨率要求及制作工藝上都有較高難度,,綜合考慮取α值為21.8°,,由儀器的測量范圍±10mm可得到物距為53.85mm。通常情況下,,庫克三元組有很好的成像效果[7],因此選擇庫克三元組作為成像透鏡的初始結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化,。優(yōu)化過程中以各個鏡片表面的半徑為變量,,控制厚度在適當范圍,同時將像面與光軸的夾角β設(shè)為可變,,采用CODEV的橫向像差與波像差相結(jié)合的方式進行優(yōu)化,,得到下面的結(jié)果。圖3為優(yōu)化后的成像光學系統(tǒng)虹口區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求為什么要使用激光位移傳感器呢,?
2,、與傳統(tǒng)激光位移傳感器相比,本發(fā)明所涉及的激光位移傳感器在光學系統(tǒng)中,,S方向的成像質(zhì)量更高,,進而從理論上可提高其測量精度;3,、通過增加像散使線陣感光元件上的光斑信號呈現(xiàn)長條狀態(tài),,增大光斑信號與像元之間的接觸面積,進而降低機械件變形對信噪比的影響,。在以上描述的實施例中,,感光元件的感光單元沿著水平方向(將弧矢方向定義為水平方向)排列,將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在子午方向上的MTF值降低,,而將弧矢方向上的MTF值拉高,。在其他實施例中,感光元件的感光單元沿著豎直方向(將子午方向定義為豎直方向)排列,,此時,,可以將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在弧矢方向上的MTF值降低,而將子午方向上的MTF值拉高,。這樣,,同樣能夠達到上述類似的技術(shù)效果。以上所述only為本發(fā)明的較佳實施例而已,,并不用以限制本發(fā)明,,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改,、等同替換,、改進等,均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
一種激光位移傳感器,,包括激光器,、成像物鏡以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,,由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件,,其特征在于,在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,,解析結(jié)果滿足以下條件:在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,,MTFT>MTFS,;其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,,MTFT為子午方向上的MTF值,;在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT,;或者,,在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS,,使得所述解析結(jié)果滿足所述條件,;和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學元器件,并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離,,使得所述解析結(jié)果滿足所述條件,。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,,在進行解析時,,空間頻率為62.5lp/mm,如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,,則MTFS>MTFT×10,。激光位移傳感器在金屬行業(yè)的應用案例。
通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間,,能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積,,便于激光位移傳感器的使用和安裝;通過采用線陣感光元件,,能夠降低激光位移傳感器的成本,;另外,由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列,,所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低,,并不會影響測量精度,還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收;通過采用帶通濾光片,,能夠濾除或降低雜散光,,避免激光位移傳感器收到干擾,保證測量的準確度,。它還可以用于測量材料的膨脹和收縮,,以研究其熱學性質(zhì)。南京激光位移傳感器誠信企業(yè)推薦
在工業(yè)領(lǐng)域,,激光位移傳感器可以用于檢測零件的尺寸和位置,,以確保生產(chǎn)過程的準確性和一致性。普陀區(qū)激光位移傳感器常見問題
本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS>MTFT或MTFT>MTFS,,能夠利用像散,讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即,,弧矢方向,,S方向)變窄,而在豎直方向(即,,子午方向,,T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即,弧矢方向,,S方向)變寬,,而在豎直方向(即,子午方向,,T方向)變窄),,有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置,從而提高測量的準確度,;由于激光位移傳感器中感光元件的多個感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形,,將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低,也不會影響測量精度,;不僅如此,,由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄,而在MTF值被降低的方向上光斑變寬,,所以光斑與像元之間的接觸面積增大,,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能夠更好地應對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響,;此外,,由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值,所以能夠降低物鏡的設(shè)計難度,,節(jié)省制造和維護成本,;普陀區(qū)激光位移傳感器常見問題