傳統(tǒng)的接觸式平面檢測精度低、穩(wěn)定性差及對對象物檢測條件要求苛刻,，已逐漸被現(xiàn)代非接觸式平面檢測所替代,。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)以其高精度、高分辨率及不受對象物材質(zhì),、顏色或傾斜度的影響等優(yōu)點，可對任何對象物進行平面檢測。介紹系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和激光位移傳感器的工作機理,，并進行平面定性檢測和定量檢測試驗，用OpenGI,。繪制及擬合三維曲面,。試驗結(jié)果表明，該系統(tǒng)平面檢測結(jié)果較好地反映出對象物平面起伏情況，并且達到系統(tǒng)的精度要求,。它可以用于測量物體的形狀和輪廓,，以提供準(zhǔn)確的幾何信息。好的激光位移傳感器按需定制

如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置,，其特征在于：所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置,；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,，另一端抵接于所述橫向蝸桿上,。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器,；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上,，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa溫州激光位移傳感器行情激光位移傳感器的使用非常方便,。

系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示,。從圖1可以看出，整個系統(tǒng)由上位機,、激光位移傳感器和平臺運動控制系統(tǒng)三部分組成,。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測頭和監(jiān)視器組成,。平臺運動控制系統(tǒng)主要由平移臺運動控制器,、驅(qū)動器、電源和二維電動平移臺組成,。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示,。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理,。參考距離根據(jù)被測對象物的變化可測量范圍為2 mm,，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm,，線性度達到滿量程的0.3％,，即精度達到6μm。

從圖2的鏡頭圖可以看出,，第二塊透鏡的半徑很小,，主要是為了保證系統(tǒng)在整個工作范圍內(nèi)得到相對均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小,，maximum為0.4mm,，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm,，在55mm處,。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過物體散射回去的,，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時為了保證精度要求,，光斑也不能太大,，上面的結(jié)果能夠滿足需求。得到好的出射光斑以后,，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像,，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問題。在直入射式三角法測量中,，物體沿激光入射方向移動,，物面并不垂直于成像光軸。那么在透鏡成像過程中(如圖1),，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5],。要想達到理想的成像效果，光電探測器需依此條件放置,。它具有高精度,、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域,。

本發(fā)明涉及光學(xué)測量領(lǐng)域,，并且特別地，涉及一種激光位移傳感器,；光學(xué)傳感器是依據(jù)光學(xué)原理進行測量的儀器,，這類傳感器有許多優(yōu)點，例如,，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測量,、測量幾乎不受干擾、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測,、遙控,、可實時處理等優(yōu)點。光學(xué)傳感器包括很多類型,，其中,，以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,，互補金屬氧化物半導(dǎo)體)或者CCD(Charge-coupledDevice,，電荷耦合元件)傳感器作為接收器的精密測量儀器。這種傳感器能夠在非接觸的情況下精確測量被測物體的位置,、位移等變化,，并且能夠被應(yīng)用于檢測物體的位移、厚度,、振動,、距離、直徑等幾何量的測量。非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng),，以滿足新的測量要求并提高測量的準(zhǔn)確性和分辨率,。嘉定區(qū)激光位移傳感器推薦廠家

高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率，能夠測量微小的位移變化,。好的激光位移傳感器按需定制

在一個實施例中,，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片,。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中,，包括線形排列的多個感光單元，通常為直線排列,，該直線的延伸方向為感光單元的主要排列方向,，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列,，因此,，長條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機械器件形變對所述激光位移傳感器信噪比的影響,。[0045]在其他實施例中,，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個感光單元,，矩形的長邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸,，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向,。這樣,，長條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。好的激光位移傳感器按需定制