系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出,，整個系統(tǒng)由上位機(jī),、激光位移傳感器和平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器,、感測頭和監(jiān)視器組成,。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)主要由平移臺運(yùn)動控制器、驅(qū)動器,、電源和二維電動平移臺組成,。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺,。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理,。參考距離根據(jù)被測對象物的變化可測量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm,，傳感器顯示解析度為0.3μm,，線性度達(dá)到滿量程的0.3％，即精度達(dá)到6μm,。高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率,，能夠測量微小的位移變化。東莞激光位移傳感器制造公司

如權(quán)利要求4所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,，其特征在于：所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置,；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,，另一端抵接于所述橫向蝸桿上,。如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器,；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上,，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上,。aaaaaaaaa東莞激光位移傳感器制造公司激光傳感器是新型測量儀器。能夠精確非接觸測量被測物體的位置,、位移等變化,。

隨著現(xiàn)代化工業(yè)的發(fā)展，激光位移傳感器作為高精度,、高響應(yīng)的非接觸測量儀器,，在光電技術(shù)檢測領(lǐng)域得到了大范圍的應(yīng)用。其采用的激光三角法原理在理論上已相當(dāng)成熟,，但在實(shí)際應(yīng)用中還有一定的困難,。由于三角法建立在理想成像的基礎(chǔ)之上，所以三角法能否準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)還要依賴于所采用的光學(xué)系統(tǒng)?，F(xiàn)階段,，國外此類的高精度物鏡設(shè)計處于前沿水平，并擁有比較成熟的產(chǎn)品,，但其多透鏡組合與非球面的加工方式在制造成本上相當(dāng)昂貴,。國內(nèi)對激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的研究主要還處于實(shí)驗(yàn)性階段，尚沒有形成產(chǎn)品化,。針對目前市場上對激光位移傳感器的大范圍需求,，本文從簡單實(shí)用的角度出發(fā)，利用CODEV光學(xué)設(shè)計軟件對激光三角法進(jìn)行實(shí)際光路模擬與優(yōu)化設(shè)計,，形成了一整套具有優(yōu)良成像特性的光學(xué)系統(tǒng),，為傳感器的產(chǎn)品化生產(chǎn)提供了理論依據(jù)。

隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,，具有非接觸,、高精度、穩(wěn)定性好,、可自動化及易于與計算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測,、機(jī)器人視覺、計算機(jī)輔助設(shè)計與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù),，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度,。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離,，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波,、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn),，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器,，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定,，例如可以對微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測定,，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度,。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像,，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng),，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測。激光技術(shù)的應(yīng)用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度,，能夠滿足各種精密測量需求,。

在圖1所示的實(shí)施例中，成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式：(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片,，(形式二)成像物鏡6是由多個鏡片組合而成的透鏡組,。綜上所述，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計時,，利用增加像散,，在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下，拉高成像物鏡S方向的MTF值同時降低T方向上的MTF值,，使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長條狀態(tài),，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果：降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計難度，同時降低了設(shè)備的成本,；它可以實(shí)時監(jiān)測物體的位移變化,，提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。國內(nèi)激光位移傳感器詳情

非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng),，以滿足新的測量要求并提高測量的準(zhǔn)確性和分辨率,。東莞激光位移傳感器制造公司

為克服由于前述各種因素導(dǎo)致激光位移傳感器像面上的像點(diǎn)光斑不對稱現(xiàn)象對位移檢測產(chǎn)生的影響，目前本技術(shù)領(lǐng)域采用的做法大致有以下幾種情況:采用抗飽和芯片,，用以消除芯片飽和產(chǎn)生的拖尾現(xiàn)象,，但該方法還無法減小被測物體表面因反射不均勻或因粗糙度不均勻而引起的檢測誤差;在工業(yè)檢測中根據(jù)不同的被測物體表面反射情況,按照其產(chǎn)生的有規(guī)律的不同形狀的光斑,采用不同的數(shù)據(jù)處理方法提高檢測精度，這對工作場合穩(wěn)定,、被測物體表面有規(guī)律的情況是完全可以的,，但對被測表面反射情況事先無法知道的道路檢測方面，同樣還存在由于光斑不對稱產(chǎn)生的測量誤差;東莞激光位移傳感器制造公司