傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡,，分光鏡有一定厚度,，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同,，其橫向偏移不相等,，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上,，其連線也不是一條直線,，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差,，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測量精度,。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長共光軸,，不發(fā)生光軸偏移,，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移,，可以更好的消除像差,，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器,。鎮(zhèn)江銷售光譜共焦位移傳感器

光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實(shí)現(xiàn)通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應(yīng)當(dāng)理解的是,，本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例,，對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換,，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍,。一條連接結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)便于裝配的同時(shí),，對入射光纖,，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖進(jìn)行保護(hù),。創(chuàng)視智能嗯江蘇光譜共焦位移傳感器定做價(jià)格光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響,，提高了測量精度。

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個(gè)光束:多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束中的各個(gè)測量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置,。

根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中,，所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個(gè)光束:通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量,。

光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件,，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中,；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步,，入射光纖,，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi),。采用上述方案的有益效果是：本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系,；光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù),，具有廣闊的應(yīng)用前景,。蘇州光譜共焦位移傳感器行情

該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量,。鎮(zhèn)江銷售光譜共焦位移傳感器

準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置，且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點(diǎn),。這樣,，使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)一步減小雜散光,。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡單,，易于加工裝配和調(diào)整，同時(shí)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點(diǎn),；例如,，軸向色散與波長產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系，有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運(yùn)算速度,。本實(shí)用新型的光譜儀包括有機(jī)殼,，在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,，棱鏡組用于對反射光進(jìn)行色散,，在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對色散后的光進(jìn)行聚焦,，位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光,。鎮(zhèn)江銷售光譜共焦位移傳感器