傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度,，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移,，而波長不同,，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離,，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,，其連線也不是一條直線，所以會產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,，使整個系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差,，難以保證整個系統(tǒng)的測量精度。因此,，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸,，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱,，而且沒有垂直光軸方向的偏移,，可以更好的消除像差，同時其結(jié)構(gòu)簡單，提高機械結(jié)構(gòu)的可加工性,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器,。長春光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)

光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導(dǎo)的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,，并對被測物體的反射光進行傳導(dǎo)。接收光纖,，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光； 光譜儀,，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。長春光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,，能夠達到亞微米級的高精度,。

本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠础型光纖,、光譜共焦透鏡組,、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,，光譜共焦透鏡組包括盒蓋,、盒體、兩個雙凸球面鏡,、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道,、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,，具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量,。

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,，入射光纖固定連接在光源耦合器上后，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中,，入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光,；，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭,，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導(dǎo)的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度,，并對被測物體的反射光進行接收和傳導(dǎo)；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖,，接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光,，接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進行傳導(dǎo)；該傳感器的優(yōu)點包括高精度,、非接觸式,、不受溫度和振動等影響。

1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖,、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素?zé)艄庠催B接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋,、盒體,、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道,、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連,。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內(nèi),且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置,。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm,。它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義,。設(shè)備光譜共焦位移傳感器設(shè)備生產(chǎn)

光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量,。長春光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)

白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束,。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對應(yīng),。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應(yīng),。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).長春光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)