在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術,。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部,、多個光學頭,、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束,。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,，對于研究材料的力學行為具有重要意義,。紹興光譜共焦位移傳感器歡迎選購

準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置，且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點,。這樣,，使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統(tǒng)，進一步減小雜散光,。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單,，易于加工裝配和調整，同時實現(xiàn)準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關系的優(yōu)點,；例如,，軸向色散與波長產(chǎn)生三次函數(shù)關系，有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運算速度,。本實用新型的光譜儀包括有機殼,，在機殼中固定設置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,，棱鏡組用于對反射光進行色散,，在機殼內(nèi)固定設置有聚焦透鏡組,，聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦，位于機殼內(nèi)的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光,。嘉興怎樣選擇光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術,，可以實現(xiàn)高精度的位移測量,。

傳統(tǒng)的光譜儀中,，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比,，光柵分光的光能量損失較大,，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,，還可采用光柵進行分光,，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大,，對于光譜共焦系統(tǒng),，finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱，影響測量精度和效果,。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組,，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的,，即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠,，通過準直透鏡組對反射光進行準直，可以讓多色光平行射入棱鏡組,。平行光束的方向穩(wěn)定性高,，在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心，有利于后續(xù)對各色光進行色散,。

通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域,。 多個光入射口可以被設置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區(qū)域,。 多個光入射口可以設置在相對于 預定基準軸相互對稱的位置處,。因此,可以容易地設計分光器。 多個光入射口可以設置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處,。通過將多個光入射口設置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設計分光器,。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。

這樣,，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散,，色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦，使焦點位于感光元件上,，通過感光元件與控制電路電性連接,，從而實現(xiàn)電信號輸出,，即對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系,；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,，具有較小的光能量損失,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器,。長春光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)

該傳感器的應用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性和效率。紹興光譜共焦位移傳感器歡迎選購

通過配置線傳感器和光學系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量,。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭,。利用本技術,可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束,。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光,。使從多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置,。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量。應當注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果,。紹興光譜共焦位移傳感器歡迎選購