激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出,，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,，激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段,，并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實(shí)時處理，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助,。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧,、測量速度快、精度高,、測量光斑小,、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測量特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域,。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測設(shè)備中,，國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進(jìn)口。光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應(yīng)用前景,。江蘇光譜共焦位移傳感器找哪家

通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測量,。多個光學(xué)頭可以是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點(diǎn)的同時測量,。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束,。通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光,。使從多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置,。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果,。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器供應(yīng)它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,，能夠達(dá)到亞微米級的高精度。

位于沉孔的開口端,，通過粘接固定設(shè)置有透光鏡,，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì)，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,，平面透光鏡的設(shè)置可以對導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù),，本實(shí)施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外,，使光的指示范圍更廣,，更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分,，包括有上殼體和下殼體,，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接,，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上,；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時,，不可避免的會產(chǎn)生熱量,，通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙,，導(dǎo)光光纖的熱量大部分會傳導(dǎo)到上殼體上,，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,，提高探頭精度,。

本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)，易于想到的是,，探頭殼體可設(shè)置為方形,，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡,，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方,；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射,，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射,，一半反射,；光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測量精度,。

線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測量光,。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域,。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域,。光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實(shí)現(xiàn)測量,。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器供應(yīng)

該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。江蘇光譜共焦位移傳感器找哪家

在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù),。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法,。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學(xué)頭,、分光器和位置計(jì)算部,。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,，并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光,。江蘇光譜共焦位移傳感器找哪家