光譜儀將波長,、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實(shí)現(xiàn)通過光譜共焦的原理測量位移的過程,。應(yīng)當(dāng)理解的是,，本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換,，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。一條連接結(jié)構(gòu),，實(shí)現(xiàn)便于裝配的同時(shí),，對入射光纖，接收光纖,，多個(gè)導(dǎo)光光纖進(jìn)行保護(hù),。創(chuàng)視智能嗯該傳感器可被應(yīng)用于微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈

過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù),。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來進(jìn)行對測量對象的位移的多點(diǎn)測量的共焦測量設(shè)備,。在該共焦測量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻(xiàn)1的說明書中的段落,、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域(通道),。結(jié)果,可以針對多個(gè)光學(xué)頭only使用一個(gè)分光器(攝像裝置)來進(jìn)行測量對象的多點(diǎn)測量.直銷光譜共焦位移傳感器出廠價(jià)該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量,。

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息,。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,，激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種,。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息,，使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過設(shè)備機(jī)械運(yùn)動(dòng)及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息,。因此,，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。,。,。

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度,，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移,，而波長不同，其橫向偏移不相等,，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離,，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線,，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測量精度,。因此,，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，不發(fā)生光軸偏移,，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱,，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡單,，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性,。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義,。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡,，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡,，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置,，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面,。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,，所述色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,，所述準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光光源的準(zhǔn)直,；所述色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè),，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散,。光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響,，提高了測量精度。寧波光譜共焦位移傳感器

它可以實(shí)現(xiàn)對材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量,，對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義,。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈

這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散,，色散后的光通過聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦,，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接,，從而實(shí)現(xiàn)電信號輸出,，即對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系,；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程,。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失,。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈