光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,,發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中,;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步,,入射光纖,,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi),。采用上述方案的有益效果是:本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光源,,多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),,通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置,,使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,;該傳感器可應(yīng)用于微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。杭州有哪些光譜共焦位移傳感器
在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀,,當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后,,光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接,光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。這樣,,通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),;通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向高度,,使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,;銷售光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項(xiàng)光譜共焦位移傳感器是一種先進(jìn)的光學(xué)測(cè)量技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)高精度的位移測(cè)量,。
接收光纖,,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光,;光譜儀,,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線,。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,,所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,;半透半反光學(xué)鏡,所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方,;反光鏡,,所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光,,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,。
入射光纖,接收光纖,,多個(gè)導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過(guò)保護(hù)套使入射光纖,,接收光纖,,多個(gè)導(dǎo)光光纖形成通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),。通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學(xué)鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散,,不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置,,使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系;被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,,光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系,;它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試,、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域,。
傳統(tǒng)的光譜儀中,,還可采用光柵進(jìn)行分光,與棱鏡組相比,,光柵分光的光能量損失較大,,對(duì)于光譜共焦系統(tǒng),finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,,還可采用光柵進(jìn)行分光,,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,,對(duì)于光譜共焦系統(tǒng),,finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號(hào)很弱,影響測(cè)量精度和效果,。光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直的準(zhǔn)直透鏡組,,準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的,,即開(kāi)始相鄰的兩條光線傳播后會(huì)相離越來(lái)越遠(yuǎn),,通過(guò)準(zhǔn)直透鏡組對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直,可以讓多色光平行射入棱鏡組,。平行光束的方向穩(wěn)定性高,,在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心,有利于后續(xù)對(duì)各色光進(jìn)行色散,。它使用光譜共焦技術(shù)來(lái)測(cè)量物體的微小位移,,達(dá)到亞微米級(jí)的高精度。常州光譜共焦位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
光譜共焦位移傳感器是一種高精度,、非接觸式的位移測(cè)量傳感器,。杭州有哪些光譜共焦位移傳感器
進(jìn)一步,光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,; 半透半反光學(xué)鏡,半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,,反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,,反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光,接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,。進(jìn)一步,,半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,,膠合面鍍有半透半反膜,,半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置,上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,,上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等,。杭州有哪些光譜共焦位移傳感器