過去,針對測量待測物體的高度等,已經使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同,。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落,、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,，能夠達到亞微米級的高精度,。嘉興光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置,，設置在光源耦合器中的發(fā)光件實現發(fā)光，并通過導光光纖進行傳導光后在探頭殼體上顯示,，從而實現產生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體,，從而減少發(fā)光件發(fā)光時產生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響,，減少測量誤差，提高測量精度,；通過濾光片過濾紅外線，進一步減小發(fā)熱量和傳導的熱量,。將探頭殼體設置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分,，產生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學部件產生影響,，從而減少測量誤差,，提高測量精度。原裝光譜共焦位移傳感器定做價格該傳感器的應用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。

本實用新型由于采用了上述技術方案,具有以下有益效果:1,、該系統(tǒng)采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對采集的光波進行采集分析2,、該系統(tǒng)結構簡單,易于產業(yè)化,測量精度高,能對有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進行測量3,、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物適應性強,適用于凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復:4,、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射,、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。本實用新型結構簡單,實用性強,不僅實現了傳感器探頭的小型化,有利于提高測量精度,而且適用于具有高深寬比,、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量。

光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當地設計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡,。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置,。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量,。當然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體,。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和,。當然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光,。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),，例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置,。因此,可以容易地設計分光器,。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上,。因此,可以容易地設計分光器,。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個受光區(qū)域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中,，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域,。該傳感器可以用于微納加工,、生物醫(yī)學,、半導體制造等領域的精密測量。?？诠庾V共焦位移傳感器產品基本性能要求

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發(fā)光件和導光光纖的入光端之間,，固定設置有濾光片,，濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間,，濾光片用于過濾紅外線,，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度,。探頭殼體的側壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部,，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接,；這樣,，通過沉孔的設置,，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,，從而影響影響導光光纖,，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。嘉興光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好