激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理,，通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,，從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,，激光位移傳感器已成為非接觸測(cè)量領(lǐng)域的重要手段,，并可以通過(guò)與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助,。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧,、測(cè)量速度快、精度高,、測(cè)量光斑小,、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微位移測(cè)量領(lǐng)域,。其應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的檢測(cè)設(shè)備中,，國(guó)內(nèi)所使用的激光非接觸測(cè)量?jī)x器幾乎主要依靠國(guó)外進(jìn)口。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造,、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性,。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)

通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行,。因此,可以容易地將各測(cè)量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域,。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器,。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處,。通過(guò)將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。什么樣光譜共焦位移傳感器行情它利用光譜共焦技術(shù)來(lái)測(cè)量物體的微小位移,，具有亞微米級(jí)的高精度,。

通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭,。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量,。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光,。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束,。基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置,。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量,。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說(shuō)明書中的任何效果。

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面,，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直,；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè),，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散,。光譜儀包括有機(jī)殼,，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對(duì)反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù),，具有廣闊的應(yīng)用前景,。

光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設(shè)置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過(guò)物鏡并且從殼體部的前端處所設(shè)置的照射面向著待測(cè)物體上的測(cè)量點(diǎn)照射,。物鏡是針對(duì)光譜傳感器所設(shè)計(jì)的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差,。具體地,物鏡使入射到光學(xué)頭的光會(huì)聚于光軸上的各自與波長(zhǎng)入相對(duì)應(yīng)的聚焦位置P處。因此,在本實(shí)施例中,白色光中所包括的多個(gè)可見(jiàn)光東由物鏡會(huì)聚于與波長(zhǎng)入相對(duì)應(yīng)的相互不同的聚焦位置處,。創(chuàng)視智它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量,，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器定做價(jià)格

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測(cè)量,，對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義,。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)

遠(yuǎn)距離測(cè)量：可遠(yuǎn)離被測(cè)物體進(jìn)行掃描測(cè)量。 測(cè)量效率高：不像接觸測(cè)頭那樣需要探測(cè),、返回,、移動(dòng)等進(jìn)行逐點(diǎn)測(cè)量，可高速掃描測(cè)量,。測(cè)量精度高：光斑可聚焦到很小,，進(jìn)而可探測(cè)一般機(jī)械測(cè)頭難以探測(cè)的部位。 其中,，光學(xué)測(cè)量以三角測(cè)量法應(yīng)用broadest,。而根據(jù)三角測(cè)量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測(cè)信噪比高的激光光源,，但使用激光進(jìn)行三角測(cè)量時(shí),，照射到物體表面的激光會(huì)呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，而且被測(cè)物體的顏色,、材質(zhì)和放置的角度會(huì)影響的光斑的分布,，從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難，導(dǎo)致三角法測(cè)量誤差比較大,，在測(cè)量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯,，為了更加精細(xì),、更加穩(wěn)定的測(cè)量位移，需要采用新型位移測(cè)量技術(shù),。因此,，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)