通過配置線傳感器和光學系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量,。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭,。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量,。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束,。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光,。使從多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束?;诰€傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置,。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量,。應(yīng)當注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量,,對于研究材料的性能具有重要意義,。安徽光譜共焦位移傳感器按需定制
發(fā)光件和導光光纖的入光端之間,固定設(shè)置有濾光片,,濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導光光纖之間,,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,,使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度,。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部,,且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接,;這樣,通過沉孔的設(shè)置,,在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓,,避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,從而影響影響導光光纖,,或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位,。湖北光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)它可以測量物體的微小位移,,精度可以達到亞微米級別,。
傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡,分光鏡有一定厚度,,使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移,,而波長不同,其橫向偏移不相等,,導致多色光的光軸發(fā)生分離,,經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,其連線也不是一條直線,,所以會產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,,使整個系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差,難以保證整個系統(tǒng)的測量精度,。因此,,本方案采用的半透半反光學鏡2300實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸,不發(fā)生光軸偏移,,即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱,,而且沒有垂直光軸方向的偏移,可以更好的消除像差,,同時其結(jié)構(gòu)簡單,,提高機械結(jié)構(gòu)的可加工性,。
被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長,、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進行分析,,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程,,通過光譜共焦工作原理,,避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷,。光譜共焦位移傳感器是一種高精度,、高分辨率的位移測量技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景,。
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置,。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm,。進一步,鹵素燈光源的光譜波段范圍為360nm~2500nm,。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復,。光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系,。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射,、高深寬比,、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,,對于研究材料的振動特性具有重要意義,。好的光譜共焦位移傳感器技術(shù)指導
它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領(lǐng)域,。安徽光譜共焦位移傳感器按需定制
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調(diào)整的準直透鏡組,,準直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設(shè)置有兩層,,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,,感光元件位于機殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,,光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,,設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上,。安徽光譜共焦位移傳感器按需定制