在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下,，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT,、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS,，使得解析結(jié)果滿足條件,；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件,。反光元件,，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后,，入射到感光元件,。它具有較長的使用壽命，能夠長時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行,。泉州激光位移傳感器源頭直供廠家

隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,，具有非接觸、高精度,、穩(wěn)定性好,、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測技術(shù)在自動(dòng)檢測、機(jī)器人視覺,、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法,。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度,。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場,、超聲波,、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn),，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器,，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定，例如可以對微細(xì)工件,、粗面工件的高度進(jìn)行測定,，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái),。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像,，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測,。東莞激光位移傳感器免費(fèi)咨詢它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測物體的位移變化,，提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。

在采用方式2的情況下,，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃),，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí)，可以在微米量級進(jìn)行調(diào)整,。每次調(diào)整后,，可以進(jìn)行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí),，停止調(diào)節(jié),。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件,，則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外,，在圖1所示的實(shí)施例中,，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率,，減小其外形尺寸,。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略,。在測量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對測量系統(tǒng)的影響,。

從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出，在整個(gè)物面并不垂直于光軸時(shí),，經(jīng)過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸,，與光軸存在一定的夾角β，設(shè)計(jì)的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°,，此時(shí)像面上可得到比較理想的光斑分布,。在工作范圍內(nèi)不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀,，此點(diǎn)列圖表明成像光斑分布均勻,，但還存在一定的剩余像差，主要為球差,，光斑大小可見表2,，光斑直徑在20μm左右。同時(shí)根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果可得像距為33.092mm,，經(jīng)計(jì)算tanα/tanβ=0.6137,，di/do=0.6145，此物鏡設(shè)計(jì)基本滿足于Scheimpflug理想成像條件,。它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量,，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中。

方式[0019]請參照圖1所示,，本實(shí)用新型激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置100的較佳實(shí)施例,，包括一可伸縮導(dǎo)軌1、一微調(diào)裝置2,、一傳感器夾持裝置3,、一激光位移傳感器4以及一激光紅外線接收擋板5；所述微調(diào)裝置2和傳感器夾持裝置3設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌1的上端,；所述激光位移傳感器4夾持在所述傳感器夾持裝置3上,，且使所述激光位移傳感器4的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置2；所述激光紅外線接收擋板5與所述微調(diào)裝置2固接，且使所述激光紅外線接收擋板5的接收面朝向所述傳感器夾持裝置3,。它可以用于測量物體的形狀和輪廓,，以提供準(zhǔn)確的幾何信息。青浦區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨

激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關(guān)系,。泉州激光位移傳感器源頭直供廠家

通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間,，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝,；通過采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本,；另外,，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低,，并不會(huì)影響測量精度,，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過采用帶通濾光片,，能夠?yàn)V除或降低雜散光,，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測量的準(zhǔn)確度,。泉州激光位移傳感器源頭直供廠家