系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示,。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī),、激光位移傳感器和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器,、感測(cè)頭和監(jiān)視器組成,。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)主要由平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器、驅(qū)動(dòng)器,、電源和二維電動(dòng)平移臺(tái)組成,。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測(cè)頭和二維電動(dòng)平移臺(tái),。圖3為激光位移傳感器感測(cè)頭測(cè)量對(duì)象物原理,。參考距離根據(jù)被測(cè)對(duì)象物的變化可測(cè)量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm,，傳感器顯示解析度為0.3μm,，線性度達(dá)到滿量程的0.3％,，即精度達(dá)到6μm,。激光位移傳感器在汽車行業(yè)的應(yīng)用案例,。紹興激光位移傳感器廠家

本實(shí)用新型涉及一種用于檢測(cè)物ti的位移特別是路面平整度、路面構(gòu)造深度等道路質(zhì)量指標(biāo)的道路檢測(cè)激光位移傳感器,，由左,、右激光位移傳感器和一個(gè)設(shè)置在二者之間并由二者共用的激光器組成，在左,、右激光位移傳感器內(nèi)沿成像光軸方向各設(shè)有-組成像鏡頭和一個(gè)光電接收器。工作中,，激光器發(fā)出的準(zhǔn)直激光束照射到被測(cè)物體粗糙表面后在照射點(diǎn)形成散射光斑,，左、右成像鏡頭將散射光斑分別在左,、右光電接收器上成像，得到左右兩組像點(diǎn),，之后通過數(shù)據(jù)處理，可以得到左右像點(diǎn)在像面光電接收器上的位置，lastly根據(jù)像點(diǎn)的位置并通過相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理方法處理后，即可以得到被測(cè)物體表面的位移,。合肥激光位移傳感器工廠激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例,。

一種激光位移傳感器，包括激光器,、成像物鏡以及感光元件,，所述激光器用于射出激光束,，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于,，在對(duì)所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí),，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下,，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,，MTFT>MTFS；其中,，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值,；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下,，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT,；或者，在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS,，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件,，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件,。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí),，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS>MTFT×10,。

激光位移傳感器的測(cè)量精度容易受到被測(cè)物體表面特征的影響，為了減小測(cè)量誤差,，在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻,。針對(duì)傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求,，半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求,，但其光束質(zhì)量并不理想,，需要對(duì)其進(jìn)行光束整形,。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對(duì)稱:快軸發(fā)散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布,，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°,，光束分布不規(guī)則,，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm。因此,，在不允許能量損失的情況下,，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573；但由于光束的快軸能量呈高斯分布,，通常取半寬度(FWHM)為20°,，此時(shí)NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些,，但考慮到工藝問題,，不宜過小，選定為2.5mm,。為了便于設(shè)計(jì)，將系統(tǒng)倒置,，整個(gè)系統(tǒng)的主要要求為:工作波長(zhǎng)為785±10nm,，像方NA=0.342,，像距l(xiāng)′=2.5mm,，物距l(xiāng)=40～60mm,，焦距f=3～4mm。高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率，能夠測(cè)量微小的位移變化。

通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間,，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝,；通過采用線陣感光元件,，能夠降低激光位移傳感器的成本,；另外,，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列,，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低,，并不會(huì)影響測(cè)量精度,，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收,；通過采用帶通濾光片,，能夠?yàn)V除或降低雜散光,，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測(cè)量的準(zhǔn)確度,。它具有高度穩(wěn)定性和可靠性。安徽激光位移傳感器廠家供應(yīng)

激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。紹興激光位移傳感器廠家

在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT,、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS,，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件,，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離使得解析結(jié)果滿足條件,。反光元件，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上,，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件,。紹興激光位移傳感器廠家