干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內的厚度進行解算 ,，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象。干涉法算法在于相位信息的提取,，借助多種復合算法通?？梢赃_到納米級的測量準確度。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳,，光學元件表面的不清潔,、光照度不均勻、光源不穩(wěn)定,、外界氣流震動干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39],，使干涉圖樣中包含噪聲和部分區(qū)域的陰影，給后期處理帶來困難,。除此之外,，干涉法系統(tǒng)精度的來源——精密移動及定位部件也增加了系統(tǒng)的成本，高精度的干涉儀往往較為昂貴,。膜厚儀依賴于膜層和底部材料的反射率和相位差來實現這一目的,。國內膜厚儀常見問題

由于靶丸自身特殊的特點和極端的實驗條件，使得靶丸參數的測試工作變得異常復雜,。光學測量方法具有無損,、非接觸、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)勢,，因此成為了測量靶丸參數的常用方式。目前常用于靶丸幾何參數或光學參數測量的方法有白光干涉法,、光學顯微干涉法,、激光差動共焦法等。然而,，靶丸殼層折射率是沖擊波分時調控實驗研究中的重要參數,，因此對其進行精密測量具有重要意義。 常用的折射率測量方法有橢圓偏振法,、折射率匹配法,、白光光譜法、布儒斯特角法等,。原裝膜厚儀市場價格這種膜厚儀可以測量大氣壓下,，1nm到1mm范圍內的薄膜厚度。

白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術測量的局限性 。白光掃描干涉法采用白光作為光源,，白光作為一種寬光譜的光源,，相干長度較短，因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內,。而且在白光干涉時,，有一個確切的零點位置。測量光和參考光的光程相等時,，所有波段的光都會發(fā)生相長干涉,，這時就能觀測到有一個很明亮的零級條紋，同時干涉信號也出現最大值,，通過分析這個干涉信號,，就能得到表面上對應數據點的相對高度，從而得到被測物體的幾何形貌,。白光掃描干涉術是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度。因此,，為了提高精度,，就需要更為復雜的光學系統(tǒng)，這使得條紋的測量變成一項費力又費時的工作,。

白光干涉頻域解調顧名思義是在頻域分析解調信號 ，測量裝置與時域解調裝置幾乎相同,，只需把光強測量裝置換為光譜儀或者是CCD ,，接收到的信號是光強隨著光波長的分布。由于時域解調中接收到的信號是一定范圍內所有波長的光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加,，即可得到與它對應的時域接收信號。由此可見,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息。在頻域干涉中,，當兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時,，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內部的光柵具有分光作用,，能夠將寬譜光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度。這一解調技術的優(yōu)點就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件,，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調方法有峰峰值檢測法、傅里葉解調法以及傅里葉變換白光干涉解調法等,。白光干涉膜厚測量技術的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進行改進 ,。

與激光光源相比以白光的寬光譜光源由于具有短相干長度的特點使得兩光束只有在光程差極小的情況下才能發(fā)生干涉因此不會產生干擾條紋 ,。同時由于白光干涉產生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置避免了干涉級次不確定的問題,。本文以白光干涉原理為理論基礎對單層透明薄膜厚度測量尤其對厚度小于光源相干長度的薄膜厚度測量進行了研究,。首先從白光干涉測量薄膜厚度的原理出發(fā),、分別詳細闡述了白光干涉原理和薄膜測厚原理,。接著在金相顯微鏡的基礎上構建了型垂直白光掃描系統(tǒng)作為實驗中測試薄膜厚度的儀器并利用白光干涉原理對的位移量進行了標定,。隨著技術的進步和應用領域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴展,；薄膜膜厚儀主要功能與優(yōu)勢

通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度，利用膜層與底材的反射率和相位差來實現測量,。國內膜厚儀常見問題

干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實現對薄膜厚度測量的光學方法 ,，是一種高精度的測量技術。采用光學干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結構簡單,，成本低廉,，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強,，使用范圍廣等優(yōu)點,。對于大多數的干涉測量任務，都是通過薄膜表面和基底表面之間產生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來研究干涉裝置中待測物理量引入的光程差或者是位相差的變化,，從而達到測量目的。光學干涉測量方法的測量精度可達到甚至優(yōu)于納米量級,，而利用外差干涉進行測量,，其精度甚至可以達到10-3nm量級[11]。根據所使用光源的不同,，干涉測量方法又可以分為激光干涉測量和白光干涉測量兩大類,。激光干涉測量的分辨率更高，但是不能實現對靜態(tài)信號的測量,，只能測量輸出信號的變化量或者是連續(xù)信號的變化,，即只能實現相對測量。而白光干涉是通過對干涉信號中心條紋的有效識別來實現對物理量的測量,，是一種測量方式,，在薄膜厚度的測量中得到了廣泛的應用。國內膜厚儀常見問題