白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題 ,，具有動態(tài)測量范圍大，連續(xù)測量時波動范圍小的特點(diǎn)，但在實(shí)際測量中,，由于測量誤差,、儀器誤差、擬合誤差等因素,，干涉級次的測量精度仍其受影響,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象。導(dǎo)致公式計算得到的干擾級次m值與實(shí)際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差,。為得到準(zhǔn)確的干涉級次,，本文依據(jù)干涉級次的連續(xù)特性設(shè)計了以下校正流程圖，獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值,。導(dǎo)入白光干涉光譜測量曲線,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析。本地膜厚儀性價比高企業(yè)

干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率 ,，然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,，干涉法是通過設(shè)置參考光路，形成與測量光路間的干涉條紋,，因此其相位信息包含兩個部分,，分別是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)部多次反射引起的膜厚相位。干涉法測量光路使用面陣CCD接收參考平面和測量平面間相干波面的干涉光強(qiáng)分布,，不同于以上三種點(diǎn)測量方式,，可一次性生成薄膜待測區(qū)域的表面形貌信息，但同時由于存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算,，完成單次測量的時間相對較長,。納米級膜厚儀品牌企業(yè)總的來說，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣,、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器,。

光學(xué)測厚方法集光學(xué) 、機(jī)械,、電子,、計算機(jī)圖像處理技術(shù)為一體，以其光波長為測量基準(zhǔn),，從原理上保證了納米級的測量精度,。同時，光學(xué)測厚作為非接觸式的測量方法,，被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量,。其中，薄膜厚度光學(xué)測量方法按光吸收,、透反射,、偏振和干涉等光學(xué)原理可分為分光光度法,、橢圓偏振法、干涉法等多種測量方法,。不同的測量方法,，其適用范圍各有側(cè)重，褒貶不一,。因此結(jié)合多種測量方法的多通道式復(fù)合測量法也有研究,，如橢圓偏振法和光度法結(jié)合的光譜橢偏法，彩色共焦光譜干涉和白光顯微干涉的結(jié)合法等,。

靶丸殼層折射率 ,、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率,、厚度及其分布對ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義,。由于靶丸尺寸微小（亞毫米量級）,、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）,、測量精度要求高，如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中重要的研究內(nèi)容,。本論文針對靶丸殼層折射率及厚度分布的精密測量需求,，開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究。該儀器的工作原理是通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,，基于反射率和相位差,。

白光干涉的分析方法利用白光干涉感知空間位置的變化 ，從而得到被測物體的信息 ,。它是在單色光相移干涉術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的,。單色光相移干涉術(shù)利用光路使參考光和被測表面的反射光發(fā)生干涉,，再使用相移的方法調(diào)制相位,，利用干涉場中光強(qiáng)的變化計算出其每個數(shù)據(jù)點(diǎn)的初始相位，但是這樣得到的相位是位于（-π,，+π]間,，所以得到的是不連續(xù)的相位。因此,，需要進(jìn)行相位展開使其變?yōu)檫B續(xù)相位,。再利用高度與相位的信息求出被測物體的表面形貌。單色光相移法具有測量速度快,、測量分辨力高,、對背景光強(qiáng)不敏感等優(yōu)點(diǎn)。但是,，由于單色光干涉無法確定干涉條紋的零級位置,。因此,，在相位解包裹中無法得到相位差的周期數(shù)，所以只能假定相位差不超過一個周期,，相當(dāng)于測試表面的相鄰高度不能超過四分之一波長[27],。這就限制了其測量的范圍，使它只能測試連續(xù)結(jié)構(gòu)或者光滑表面結(jié)構(gòu),。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于電子工業(yè)中的薄膜電阻率測量,；膜厚儀品牌企業(yè)

可測量大氣壓下薄膜厚度在1納米到1毫米之間。本地膜厚儀性價比高企業(yè)

為了分析白光反射光譜的測量范圍 ,，開展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測量實(shí)驗(yàn),。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測量曲線，如圖所示,，對于殼層厚度30μm的靶丸,，其白光反射光譜各譜峰非常密集、干涉級次數(shù)值大,；此外,，由于靶丸殼層的吸收，壁厚較大的靶丸信號強(qiáng)度相對較弱,。隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步增加,，其白光反射光譜各譜峰將更加密集，難以實(shí)現(xiàn)對各干涉譜峰波長的測量,。為實(shí)現(xiàn)較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，需采用紅外的寬譜光源和光譜探測器。對于殼層厚度為μm的靶丸,，測量的波峰相對較少,，容易實(shí)現(xiàn)靶丸殼層白光反射光譜譜峰波長的準(zhǔn)確測量；隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步減小,，兩干涉信號之間的光程差差異非常小,，以至于他們的光譜信號中只有一個干涉波峰，基于峰值探測的白光反射光譜方法難以實(shí)現(xiàn)其厚度的測量,；為實(shí)現(xiàn)較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，可采用紫外的寬譜光源和光譜探測器提升其探測厚度下限。本地膜厚儀性價比高企業(yè)