光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的技術(shù)，在測(cè)量過程中無(wú)需軸向掃描,，直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息,，因此可以大幅提高測(cè)量速度。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來(lái)出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達(dá)到納米級(jí)。由于光譜共焦傳感器對(duì)被測(cè)表面狀況要求低,、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快,、實(shí)時(shí)性高,，因此迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，大量應(yīng)用于精密定位,、薄膜厚度測(cè)量,、微觀輪廓精密測(cè)量等領(lǐng)域。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理,，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計(jì)量測(cè)試中的典型應(yīng)用,。同時(shí)，對(duì)共焦技術(shù)在未來(lái)精密測(cè)量的進(jìn)一步應(yīng)用進(jìn)行了探討,，并展望了其發(fā)展前景 ,。光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的三維成像和分析。平面度測(cè)量 光譜共焦找哪家

線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測(cè)量技術(shù)是一種利用光譜信息進(jìn)行空間分辨的光學(xué)技術(shù) ,。該技術(shù)利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測(cè)光路,，再加入一個(gè)光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的空間和光譜信息的同時(shí)采集和處理,。該技術(shù)的主要特點(diǎn)在于,，采用具有線性色散特性的透鏡組合，將樣品掃描后產(chǎn)生的信號(hào)分離出來(lái),，利用光度計(jì)或CCD相機(jī)等進(jìn)行信號(hào)的測(cè)量和分析,，以獲得高分辨率的空間和光譜數(shù)據(jù)。利用該技術(shù)我們可以獲得材料表面形貌和屬性的具體信息,，如化學(xué)成分,，應(yīng)變、電流和磁場(chǎng)等信息等,。與傳統(tǒng)的共焦顯微技術(shù)相比,，線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測(cè)量技術(shù)具有更高的數(shù)據(jù)采集效率和空間分辨能力，對(duì)一些材料的表征更為準(zhǔn)確,，也有更好的適應(yīng)性和可擴(kuò)展性,，適用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué),、納米科技等領(lǐng)域的研究,。但需要指出的是，由于其透鏡組合和光譜儀器的加入 ，該技術(shù)的成本相對(duì)較高,，也需要更強(qiáng)的光學(xué)原理和數(shù)據(jù)分析能力支持,，因此在使用前需要認(rèn)真評(píng)估和優(yōu)化實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。新型光譜共焦的用途光譜共焦技術(shù)在醫(yī)學(xué),、材料科學(xué),、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試方法是一種通過激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號(hào),，并利用差動(dòng)共焦顯微鏡提高空間分辨率,、抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)的非接觸式拉曼光譜測(cè)試方法。該方法將樣品放置于差動(dòng)共焦顯微鏡中,，利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點(diǎn)對(duì)樣品進(jìn)行局部激發(fā),，產(chǎn)生拉曼散射信號(hào)。其中一束激光在焦平面發(fā)生微小振動(dòng),，通過檢測(cè)二者之間的光路差異,，可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點(diǎn),，可以實(shí)現(xiàn)微區(qū)域的化學(xué)組成分析和表征,。該方法可用于單個(gè)納米顆粒、生物組織,、納米線,、nanofilm等微型樣品的表征，以及材料科學(xué),、生物醫(yī)學(xué),、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域的研究。需要注意的是,，在差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試中,，樣品的濃度、表面性質(zhì),、對(duì)激光的散射能力等都會(huì)影響測(cè)試結(jié)果,，因此需要對(duì)不同樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚砗蛢?yōu)化 。

光譜共焦傳感器是采用復(fù)色光為光源的傳感器,，其測(cè)量精度能夠達(dá)到微米量級(jí),，可用于對(duì)漫反射或鏡反射被測(cè)物體的測(cè)量。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以對(duì)透明物體進(jìn)行單向厚度測(cè)量,，光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu)，有效地避免了光路遮擋,，并使傳感器適于測(cè)量直徑4.5mm以上的孔及凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu),。光譜共焦位移傳感器在測(cè)量透明物體的位移時(shí)，由于被測(cè)物體的上、下兩個(gè)表面都會(huì)反射,，而傳感器接收到的位移信號(hào)是通過其上表面計(jì)算出來(lái)的 ,，從而會(huì)引起一定的誤差。本文基于測(cè)量平行平板的位移,，對(duì)其進(jìn)行了誤差分析,。光譜共焦技術(shù)的研究和應(yīng)用將推動(dòng)中國(guó)科技事業(yè)的發(fā)展。

光譜共焦傳感器是專為需要高精度測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,，通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù),、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造,、玻璃生產(chǎn)和塑料加工,。除了對(duì)高反射,、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量以外,，這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫反射材料,、以及透明薄膜,、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間隔距離（高達(dá)100毫米）,，從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性,。另外，傳感器的傾斜角度已顯著增加,，這在測(cè)量表面特征的變化時(shí)帶來(lái)更好的性能,，光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義,。平面度測(cè)量 光譜共焦找哪家

光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的定量分析,。平面度測(cè)量 光譜共焦找哪家

在實(shí)踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,，如：利用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理,，憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測(cè)量。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量,?？梢允箓鞲衅魍瓿蓪?duì)被測(cè)表面的精確掃描，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的分辨率,。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M(jìn)行測(cè)量:而且對(duì)瓶壁沒有壓力,。可通過設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向反射鏡實(shí)現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測(cè)及凹槽深度的測(cè)盤 ,。（創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭,，可以直接進(jìn)行深孔和凹槽的測(cè)量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測(cè)且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度。平面度測(cè)量 光譜共焦找哪家