光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度,、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角,、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高,、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn),已成為工業(yè)測(cè)量的熱門(mén)傳感器,,在生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造,、表面工程研究,、精密測(cè)量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,、±0.02%的線性精度、30kHz的采樣速度和±60°的測(cè)量角度,,適用于鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,,支持485,、USB、以太網(wǎng),,模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。光譜共焦位移傳感器可以用于結(jié)構(gòu)的振動(dòng)、變形和位移等參數(shù)的測(cè)量,。怎樣選擇光譜共焦廠家
隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ,,對(duì)精密測(cè)量技術(shù)的要求越來(lái)越高,位移測(cè)量技術(shù)作為幾何量精密測(cè)量的基礎(chǔ),,不僅需要超高測(cè)量精度,,而且需要對(duì)環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性,并且逐步趨于實(shí)時(shí),、無(wú)損檢測(cè),。與傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法相比,光譜共焦位移傳感器具有高速度,,高精度,,高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢(shì)。本文通過(guò)對(duì)光譜共焦傳感器應(yīng)用場(chǎng)景的分析,,有助于廣大讀者進(jìn)一步加深對(duì)光譜共焦傳感器技術(shù)的理解,。得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性,光譜共焦位移傳感器可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量,。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀,,光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)任何損傷。原裝光譜共焦生產(chǎn)廠家哪家好光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量,、形變和破壞等參數(shù)的測(cè)量,。
采用對(duì)比測(cè)試方法,首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核,,圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測(cè)量曲線,。為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移,。從圖中可以看出,,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差 ,,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測(cè)量,。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,從圖中可以看出,,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),,兩種方法的測(cè)量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時(shí),,白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù),,這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個(gè)量級(jí),,同時(shí),,受環(huán)境振動(dòng)、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,,共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右,。
隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,人們對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來(lái)越高,,希望能夠生產(chǎn)出具有精度高,、適應(yīng)性強(qiáng)、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器,,光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn),,使問(wèn)題得到了解決,它是一種非接觸式光電位移傳感器,,測(cè)量精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至于更高,,對(duì)背景光,環(huán)境光源等雜光的抗干擾能力強(qiáng),,適應(yīng)性強(qiáng),,且其在體積方面具有小型化的特點(diǎn),因此應(yīng)用前景十分大量。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,,鏡頭組性能參數(shù)對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度與分辨率起著決定性的作用 ,。光譜共焦技術(shù)在醫(yī)療器械制造中可以用于醫(yī)療器械的精度檢測(cè)和測(cè)量。
光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量,,提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù),。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過(guò)透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測(cè)量,并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測(cè)量,。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測(cè)量弧形工件的厚度,。該傳感器采樣頻率高,,體積小,且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口,,因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中 實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè) ,。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對(duì)震動(dòng)物體進(jìn)行測(cè)量,,同時(shí)采用無(wú)觸碰設(shè)計(jì),,避免了測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物體的干擾,也可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析 ,。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)材料表面和內(nèi)部進(jìn)行非接觸式的檢測(cè)和分析,。高性能光譜共焦原理
光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用。怎樣選擇光譜共焦廠家
隨著社會(huì)不斷的發(fā)展,,我們智能設(shè)備的進(jìn)化越發(fā)迅速,,愈發(fā)精密的設(shè)備意味著,對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的要求,,需要應(yīng)對(duì)更高的點(diǎn)膠精度,。更靈活的點(diǎn)膠角度。目前手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí),,需要在中板上點(diǎn)一圈透明的UV膠,,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行完美測(cè)量,,使用非接觸式光譜共焦傳感器,,可以避免不必要的磕碰。由于光譜共焦傳感器的復(fù)合光特性,,可以完美的高速測(cè)量膠水的高度和寬度,。由于膠水自身特性:液體,成型特性:帶有弧形,,材料特性:透明或半透明,。普通測(cè)量工具測(cè)試?yán)щy ,。怎樣選擇光譜共焦廠家