光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,，是一種高精度,、非接觸的光學測量技術,。基于光譜共焦技術的傳感器作為一種亞微米級,、快速精確測量的傳感器，已經(jīng)被大量應用于表面微觀形狀,、厚度測量,、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領域,。展望其未來,，隨著光譜共焦傳感技術的發(fā)展,，必將在微電子、線寬測量,、納米測試,、超精密幾何量計量測試等領域得到更多的應用。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來 ,，其無需軸向掃描,，直接由波長對應軸向距離信息，從而大幅提高測量速度,。光譜共焦技術具有軸向按層分析功能,；線光譜共焦安裝操作注意事項

線性色散設計的光譜共焦測量技術是一種利用光譜信息進行空間分辨的光學技術。該技術利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測光路,，再加入一個光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器,，實現(xiàn)對樣品的空間和光譜信息的同時采集和處理。該技術的主要特點在于,，采用具有線性色散特性的透鏡組合,，將樣品掃描后產(chǎn)生的信號分離出來，利用光度計或CCD相機等進行信號的測量和分析,，以獲得高分辨率的空間和光譜數(shù)據(jù),。利用該技術我們可以獲得材料表面形貌和屬性的具體信息，如化學成分,，應變,、電流和磁場等信息等。與傳統(tǒng)的共焦顯微技術相比,，線性色散設計的光譜共焦測量技術具有更高的數(shù)據(jù)采集效率和空間分辨能力,，對一些材料的表征更為準確，也有更好的適應性和可擴展性,，適用于材料科學,、生物醫(yī)學、納米科技等領域的研究,。但需要指出的是,，由于其透鏡組合和光譜儀器的加入 ，該技術的成本相對較高,，也需要更強的光學原理和數(shù)據(jù)分析能力支持,，因此在使用前需要認真評估和優(yōu)化實驗設計。平面度測量 光譜共焦主要功能與優(yōu)勢光譜共焦技術的發(fā)展將促進相關產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。

采用對比測試方法,，首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核，圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線。為了便于比較,，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進行了偏移,。從圖中可以看出，二者的低階輪廓整體相似,，局部的輪廓信息存在一定的偏差 ,，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低,，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量,。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線，從圖中可以看出,，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),，兩種方法的測量結(jié)果一致性較好，當模數(shù)大于100時,，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),，這也反應了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,，同時,，受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,，共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機噪聲可達100nm左右,。

主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量,，用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針,，以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度，隨后拆換平面圖歪頭,，對光譜共焦傳感器開展校準,。用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行解決，獲得測量數(shù)據(jù)庫的離散系統(tǒng)誤差,。結(jié)果顯示：高精密測長機校準后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,，激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038% 。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計算,，減少校準時產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,，提高對光譜共焦傳感器的校準精密度。光譜共焦技術可以測量位移,，利用返回光譜的峰值波長位置,。

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因為其測量精度高,，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點，應用前景十分大量。文章通過對原理的分析,，設計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,，采用正負透鏡組分離結(jié)構組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補償法該鏡,，在486, ..._,656nm波長范圍內(nèi),，色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達到0.9976，很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度,，配以合適的光譜儀,，傳感器的分辨率可達到5nm的測量精度。符合設計要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散,，在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性,。激光位移傳感器的應用主要是用于非標的特定檢測設備中。工廠光譜共焦能測什么

光譜共焦技術可以在醫(yī)學診斷中發(fā)揮重要作用,。線光譜共焦安裝操作注意事項

光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來的技術 ,，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息,，因此可以大幅提高測量速度,。基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度,、非接觸式的新型傳感器,，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快、實時性高,，因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，大量應用于精密定位、薄膜厚度測量,、微觀輪廓精密測量等領域,。本文介紹了光譜共焦技術的原理，并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用,。同時,，對共焦技術在未來精密測量的進一步應用進行了探討，并展望了其發(fā)展前景,。線光譜共焦安裝操作注意事項