在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域，從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步，都對(duì)環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,，而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié),，光刻機(jī)對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求極高,。哪怕 0.002℃的溫度波動(dòng)，都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,，導(dǎo)致光路偏差,，使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,，將溫度波動(dòng)控制在極小范圍,，確保光刻機(jī)高精度運(yùn)行，讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn),。提供專業(yè)的售后團(tuán)隊(duì),，定期回訪設(shè)備使用情況，及時(shí)解決潛在問(wèn)題,。高精密環(huán)境控制室

對(duì)于光學(xué)儀器,，溫度哪怕有細(xì)微變化，都會(huì)引發(fā)諸多問(wèn)題,。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片,、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件，這些材料熱膨脹系數(shù)各異,。當(dāng)溫度升高時(shí),，鏡片會(huì)膨脹，鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會(huì)發(fā)生相應(yīng)變化,，若膨脹程度不一致,，就會(huì)使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響，光路隨之發(fā)生偏差,。例如在顯微鏡觀察中,，原本清晰聚焦的樣本圖像會(huì)突然變得模糊，科研人員無(wú)法準(zhǔn)確獲取樣本細(xì)節(jié),，影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,。對(duì)于望遠(yuǎn)鏡而言，溫度波動(dòng)導(dǎo)致的光路變化,，會(huì)讓觀測(cè)天體時(shí)的成像偏離理想位置,，錯(cuò)過(guò)重要天文現(xiàn)象的記錄,。高精密環(huán)境控制室在生物制藥研發(fā)中，該設(shè)備能準(zhǔn)確調(diào)控環(huán)境,，助力藥物成分穩(wěn)定,，保障實(shí)驗(yàn)結(jié)果可靠。

精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng),、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器,、制冷(熱)系統(tǒng),、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,，為光刻機(jī),、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度,、潔凈度的工作環(huán)境,。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度,。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí),、一級(jí),，溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃,、±0.01℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來(lái),，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù),，獲得了眾多好評(píng)。

數(shù)據(jù)可視化與便捷管理是設(shè)備亮點(diǎn),。設(shè)備自動(dòng)生成數(shù)據(jù)曲線,，如同設(shè)備運(yùn)行 “心電圖”，便于客戶隨時(shí)查看設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),。數(shù)據(jù)自動(dòng)保存,，可隨時(shí)以表格的形式導(dǎo)出，方便客戶進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和處理,。運(yùn)行狀態(tài),、故障狀態(tài)等事件同步記錄，查詢一目了然,，讓客戶對(duì)設(shè)備狀態(tài)了如指掌,。設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架,，大型設(shè)備可現(xiàn)場(chǎng)組裝，靈活便捷,，減少運(yùn)輸壓力,，方便不同環(huán)境使用運(yùn)行。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),，美觀大方,，可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，滿足客戶的個(gè)性化需求,。涉及超高精度的測(cè)量環(huán)境要求，如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波動(dòng)要求,，則需要搭建精密環(huán)控系統(tǒng),。

在計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室中，高精度的電子天平用于精確稱量微小質(zhì)量差異,，對(duì)環(huán)境溫濕度要求極高,。若溫度突然升高 2℃，天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹,，傳感器的靈敏度隨之改變,，原本能測(cè)量到微克級(jí)別的質(zhì)量變化，此時(shí)卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差,，導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果失準(zhǔn),。濕度方面，當(dāng)濕度上升至 70% 以上,，空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤(pán)及內(nèi)部精密機(jī)械結(jié)構(gòu)上,，增加了額外的重量，使得測(cè)量數(shù)據(jù)偏大,，無(wú)法反映被測(cè)量物體的真實(shí)質(zhì)量,，進(jìn)而影響科研實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度。電子顯微鏡觀測(cè)時(shí),，設(shè)備營(yíng)造的穩(wěn)定環(huán)境,，確保成像清晰，助力科研突破,。重慶光刻機(jī)高精度環(huán)境

高精密溫濕度控制設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,。高精密環(huán)境控制室

設(shè)備運(yùn)行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢(shì)。采用的 EC 風(fēng)機(jī),，具備更高效,、更強(qiáng)大、更安靜的運(yùn)行特點(diǎn),。相比傳統(tǒng)風(fēng)機(jī),，EC 風(fēng)機(jī)能夠在提供充足風(fēng)量的同時(shí),，有效降低能耗，提高能源利用效率,。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì),，進(jìn)一步降低設(shè)備噪音，使其運(yùn)行噪音小于 45dB ,。噪音作為一種能量對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程存在難以忽視的影響,，極低的噪音恰恰能防止設(shè)備收到干擾，影響生產(chǎn)環(huán)境,。高效的運(yùn)行則保證了設(shè)備能夠快速,、穩(wěn)定地調(diào)節(jié)溫濕度和潔凈度，滿足各類精密實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)的需求,。高精密環(huán)境控制室