在航天器電子元器件的制造和裝配過(guò)程中,，精密環(huán)控柜的作用同樣關(guān)鍵,。電子元器件對(duì)靜電、潔凈度以及溫濕度都十分敏感,。靜電可能會(huì)擊穿電子元件,，導(dǎo)致其損壞；而不合適的溫濕度條件會(huì)影響電子元件的性能和可靠性,。精密環(huán)控柜通過(guò)配備高效的靜電消除裝置以及精確的溫濕度控制系統(tǒng),，為電子元器件的生產(chǎn)提供了一個(gè)穩(wěn)定、潔凈且無(wú)靜電干擾的環(huán)境,。這不僅保證了電子元器件在制造過(guò)程中的質(zhì)量,，也提高了其在航天器復(fù)雜空間環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性，為我國(guó)航空航天事業(yè)的蓬勃發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),。擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力,，可達(dá)百級(jí)以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)。山東恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室

精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng),、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器,、制冷(熱)系統(tǒng),、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成，為光刻機(jī),、激光干涉儀等精密測(cè)量,、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境,。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度,。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí),、一級(jí),，溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃,、±0.01℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來(lái),，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù)，獲得了眾多好評(píng),。甘肅恒溫恒濕設(shè)備金額精密環(huán)境控制設(shè)備憑借超高精度溫度控制,，保障內(nèi)部溫度水平均勻性小于 16mK/m。

電池芯片制造工藝的復(fù)雜性與精細(xì)度與日俱增,，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和濕度控制提出了極其嚴(yán)苛的要求。濕度一旦超出允許范圍,，哪怕有細(xì)微波動(dòng),，都極有可能致使電池芯片內(nèi)部的電路結(jié)構(gòu)發(fā)生短路現(xiàn)象,，或者嚴(yán)重影響芯片的整體性能,，大幅降低其充放電效率與使用壽命,。精密環(huán)控柜憑借其技術(shù)實(shí)力，實(shí)現(xiàn)了對(duì)濕度的調(diào)控,，將濕度穩(wěn)定性牢牢控制在極小的區(qū)間內(nèi),。同時(shí),，其配備的空氣過(guò)濾系統(tǒng),，能夠高效攔截空氣中的各類塵埃,、顆粒及微生物,，確保生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到超高潔凈度標(biāo)準(zhǔn),。針對(duì)新能源電子領(lǐng)域千變?nèi)f化的特殊生產(chǎn)工藝需求，精密環(huán)控柜還能提供定制化服務(wù),，從內(nèi)部布局到各項(xiàng)環(huán)境參數(shù)的設(shè)定,，都能滿足該領(lǐng)域獨(dú)特的環(huán)境要求。

精密環(huán)控柜能夠?qū)崿F(xiàn)如此性能,，背后蘊(yùn)含著先進(jìn)而復(fù)雜的原理,。在溫度控制方面，自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)是關(guān)鍵所在,。通過(guò)高精度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)柜內(nèi)溫度，將數(shù)據(jù)反饋至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)依據(jù)預(yù)設(shè)的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度,，調(diào)節(jié)制冷（熱）系統(tǒng)的運(yùn)行功率,。例如,，當(dāng)溫度高于設(shè)定值時(shí),，制冷系統(tǒng)迅速啟動(dòng),，精確控制制冷量,，使溫度快速回落至目標(biāo)范圍；反之,，加熱系統(tǒng)則及時(shí)介入,。對(duì)于濕度控制，利用先進(jìn)的濕度調(diào)節(jié)裝置,，通過(guò)冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據(jù)傳感器反饋的濕度數(shù)據(jù),，將設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上,，采用多層高效潔凈過(guò)濾器,，通過(guò)物理攔截,、靜電吸附等原理,，對(duì)進(jìn)入柜內(nèi)的空氣進(jìn)行深度過(guò)濾,，確保可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 ,。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部，關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)下溫度穩(wěn)定性高,，可達(dá) +/-5mK 精度,。

在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中，芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關(guān)鍵的環(huán)節(jié),，其對(duì)溫濕度的要求近乎達(dá)到苛刻的程度,。即便是極其微小的 1℃溫度波動(dòng)，都可能引發(fā)嚴(yán)重后果,。光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)鏡片會(huì)因熱脹冷縮,，致使光路發(fā)生細(xì)微偏移。這看似毫厘之差,，卻足以讓光刻圖案精度嚴(yán)重受損,，使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差，甚至短路等問(wèn)題,，進(jìn)而大幅拉低芯片的良品率,。而在濕度方面，一旦濕度突破 50% 的警戒線,，光刻膠便極易受潮,，其感光度發(fā)生改變，導(dǎo)致曝光效果大打折扣,，無(wú)疑同樣對(duì)芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負(fù)面影響,。設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性高，可連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于144h,。精密測(cè)量恒溫恒濕穩(wěn)定性

該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí),、十級(jí)、一級(jí)，溫度波動(dòng)值±0.1℃,、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃,、±0.002℃。山東恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室

芯片蝕刻時(shí),，刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要,。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過(guò)度或不足,。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制,，以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,，保障芯片蝕刻質(zhì)量,。芯片沉積與封裝過(guò)程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用,。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片,，防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響,，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠,。山東恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室