超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點,。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),，使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ，這意味著對溫度的調(diào)控能夠精細到極小的范圍,。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達 +/-2mK (靜態(tài)) ,，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài),。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ,，滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ,，確保柜內(nèi)各個角落的溫度幾乎一致,，避免因溫度差異導(dǎo)致的實驗誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題,。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h ,，以及壓力穩(wěn)定性可達 +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于 144h ,，為對溫濕度,、壓力要求苛刻的實驗和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障，讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行,。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部,，關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)下溫度穩(wěn)定性高，可達 +/-5mK 精度,。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)

我司憑借深厚的技術(shù)積累,，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù)，精度高達 0.1% 的控制輸出,。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃,、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級、十級,、一級,。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,，為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目,，打造了近乎完美的溫場環(huán)境，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾,。同時,，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h，壓力穩(wěn)定性可達+/-3Pa,，長達 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂,。在潔凈度方面，實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,，確保實驗結(jié)果的準確性與可靠性，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命,。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)可實現(xiàn)潔凈度百級,、十級，溫度波動值±0.1℃,、±0.05℃,、±0.01℃、±0.005℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。

電子顯微鏡用于觀察微觀世界，其內(nèi)部的電子束對環(huán)境要求極高,。環(huán)境中的塵埃顆?？赡芪皆陔娮邮窂缴系牟考砻妫绊懗上褓|(zhì)量,。精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制,，將空氣中塵埃過濾干凈，為電子顯微鏡提供超潔凈空間,。同時,，其具備的抗微震功能，能有效隔絕外界震動干擾,，確保電子顯微鏡穩(wěn)定成像,，讓科研人員清晰觀察微觀結(jié)構(gòu)。對于光學(xué)顯微鏡,，溫度和濕度變化會影響鏡片的光學(xué)性能,。濕度不穩(wěn)定可能導(dǎo)致鏡片表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)，降低光線透過率。精密環(huán)控柜通過溫濕度控制,，為光學(xué)顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境,，保證其光學(xué)性能穩(wěn)定，成像清晰,。

芯片蝕刻時,，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應(yīng)”,，可能引發(fā)刻蝕過度或不足,。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性,，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中,，精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用,。其可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3,，杜絕塵埃顆粒污染芯片,，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻,、芯片封裝可靠,。主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng),、氣流循環(huán)系統(tǒng),、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng),、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成,。

激光干涉儀用于測量微小位移,，精度可達納米級別。溫度波動哪怕只有 1℃,，由于儀器主體與測量目標所處環(huán)境溫度不一致,，二者熱脹冷縮程度不同，會造成測量基線的微妙變化,，導(dǎo)致測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差,，在高精度機械加工零件的尺寸檢測中，這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,，增加生產(chǎn)成本,。高濕度環(huán)境下，水汽會干擾激光的傳播路徑，使激光發(fā)生散射,，降低干涉條紋的對比度,，影響測量人員對條紋移動的精確判斷，進而無法準確獲取位移數(shù)據(jù),，給精密制造,、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來極大困擾。該系統(tǒng)集成暖通通風(fēng),、環(huán)境潔凈,、照明安防及實驗室管理系統(tǒng)，能夠?qū)崟r記錄查詢數(shù)據(jù),。高精度溫濕度設(shè)備成本

為航天零部件檢測打造的專屬環(huán)境,，滿足其對溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求,。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)

在計量校準實驗室中,，高精度的電子天平用于精確稱量微小質(zhì)量差異，對環(huán)境溫濕度要求極高,。若溫度突然升高 2℃,，天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹，傳感器的靈敏度隨之改變,，原本能測量到微克級別的質(zhì)量變化,，此時卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差，導(dǎo)致測量結(jié)果失準,。濕度方面,，當濕度上升至 70% 以上，空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤及內(nèi)部精密機械結(jié)構(gòu)上,，增加了額外的重量,，使得測量數(shù)據(jù)偏大，無法反映被測量物體的真實質(zhì)量,，進而影響科研實驗數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度,。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)