數(shù)據(jù)可視化與便捷管理是設(shè)備亮點,。設(shè)備自動生成數(shù)據(jù)曲線,,如同設(shè)備運行 “心電圖”,便于客戶隨時查看設(shè)備運行狀態(tài),。數(shù)據(jù)自動保存,,可隨時以表格的形式導(dǎo)出,方便客戶進行數(shù)據(jù)分析和處理,。運行狀態(tài),、故障狀態(tài)等事件同步記錄,,查詢一目了然,讓客戶對設(shè)備狀態(tài)了如指掌,。設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架,,大型設(shè)備可現(xiàn)場組裝,靈活便捷,,減少運輸壓力,,方便不同環(huán)境使用運行。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),,美觀大方,,可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色,滿足客戶的個性化需求,。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性極強,,8 小時內(nèi)可達±0.5%。陜西恒溫恒濕設(shè)備成本
刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料,,從而雕琢出精細的電路結(jié)構(gòu),。在這一精細操作過程中,溫度的波動都會如同“蝴蝶效應(yīng)”般,,干擾刻蝕速率的均勻性,。當(dāng)溫度不穩(wěn)定時,硅片不同部位在相同時間內(nèi)所經(jīng)歷的刻蝕程度將參差不齊,,有的地方刻蝕過度,,有的地方刻蝕不足,直接破壞芯片的電路完整性,,嚴重影響芯片性能,。濕度方面,一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況,,刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),,生成一些難以預(yù)料的雜質(zhì)。這些雜質(zhì)可能會附著在芯片表面,,或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結(jié)構(gòu)中,,給芯片質(zhì)量埋下深深的隱患,后續(xù)即便經(jīng)過多道清洗工序,,也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響,。光刻機恒溫恒濕智能系統(tǒng)擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力,可達百級以上潔凈標(biāo)準(zhǔn),。
在化學(xué),、材料、制藥,、微生物,、細胞等實驗室科研中,,精密環(huán)控柜為各類實驗提供了穩(wěn)定的環(huán)境條件,是科研工作順利開展的重要支撐,。在化學(xué)實驗中,,一些化學(xué)反應(yīng)對溫度極為敏感,0.1℃的溫度偏差都可能改變反應(yīng)速率和產(chǎn)物純度,。精密環(huán)控柜的高精密溫度控制,,確保實驗溫度穩(wěn)定,為化學(xué)反應(yīng)提供理想條件,,保證實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性,。材料研究中,材料的性能測試需要嚴格控制環(huán)境溫濕度,。例如,,對新型半導(dǎo)體材料的性能檢測,環(huán)境濕度的變化可能影響材料的電學(xué)性能,。精密環(huán)控柜的溫濕度控制,,為材料性能測試提供穩(wěn)定環(huán)境,助力科研人員準(zhǔn)確評估材料性能,。
精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng),、潔凈過濾器,、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成,,為光刻機、激光干涉儀等精密測量,、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度,、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),,控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理,,從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級,、十級,、一級,溫度波動值±0.1℃,、±0.05℃,、±0.01℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。自面世以來,,已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù),獲得了眾多好評,。高精密環(huán)控設(shè)備可移動,,容易維護和擴展。
在計量校準(zhǔn)實驗室中,,高精度的電子天平用于精確稱量微小質(zhì)量差異,,對環(huán)境溫濕度要求極高。若溫度突然升高 2℃,,天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹,,傳感器的靈敏度隨之改變,原本能測量到微克級別的質(zhì)量變化,,此時卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差,,導(dǎo)致測量結(jié)果失準(zhǔn)。濕度方面,,當(dāng)濕度上升至 70% 以上,,空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤及內(nèi)部精密機械結(jié)構(gòu)上,增加了額外的重量,,使得測量數(shù)據(jù)偏大,,無法反映被測量物體的真實質(zhì)量,進而影響科研實驗數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度,。主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng),、潔凈過濾器,、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成,。矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀恒溫恒濕采購
精密環(huán)控設(shè)備為光刻機、激光干涉儀等精密測量,、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度,、潔凈度的工作環(huán)境。陜西恒溫恒濕設(shè)備成本
我司憑借深厚的技術(shù)積累,,自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),,精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃,、±0.05℃,、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級,、十級、一級,。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK(靜態(tài))的溫度穩(wěn)定性,,以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目,,打造了近乎完美的溫場環(huán)境,,保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時,,設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h,,壓力穩(wěn)定性可達+/-3Pa,長達 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂,。在潔凈度方面,,實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,,確保實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。陜西恒溫恒濕設(shè)備成本