自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障,，為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和用戶的使用安全提供防護(hù)。故障自動(dòng)保護(hù)程序時(shí)刻監(jiān)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),，一旦檢測(cè)到異常情況,，如溫度過(guò)高、壓力過(guò)大,、電氣故障等,，系統(tǒng)會(huì)立即啟動(dòng)相應(yīng)的保護(hù)措施，停止設(shè)備的危險(xiǎn)運(yùn)行,，避免設(shè)備損壞或引發(fā)安全事故,，實(shí)現(xiàn)全天候無(wú)憂運(yùn)行。同時(shí),，故障實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒,，能及時(shí)引起用戶的注意。用戶可以根據(jù)報(bào)警信息迅速判斷故障類型和位置,，及時(shí)采取應(yīng)對(duì)措施,。此外，遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理功能,，使用戶能夠通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)技術(shù)人員取得聯(lián)系,，技術(shù)人員可以遠(yuǎn)程查看設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)和故障信息，指導(dǎo)用戶進(jìn)行故障排查和修復(fù),，縮短了故障處理時(shí)間,，提高了設(shè)備的可用性。在芯片,、半導(dǎo)體,、精密加工、精密測(cè)量等領(lǐng)域,，利用其精密溫濕度控制,，保證生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定。光刻機(jī)高精度溫濕度機(jī)組

在精密機(jī)械加工領(lǐng)域,，高精度數(shù)控機(jī)床是加工航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片等關(guān)鍵零部件的重要裝備,，其加工精度直接影響航空發(fā)動(dòng)機(jī)性能。溫濕度波動(dòng)對(duì)加工過(guò)程影響明顯,。若溫度不穩(wěn)定,，機(jī)床的主軸、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會(huì)因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形,，導(dǎo)致刀具切削路徑偏離預(yù)設(shè)軌跡,，加工出的葉片曲面精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),，進(jìn)而影響發(fā)動(dòng)機(jī)性能。當(dāng)車間濕度升高,，金屬切削刀具容易生銹,，刀具使用壽命縮短，且加工表面粗糙度增加,，難以滿足精密零件對(duì)表面質(zhì)量的嚴(yán)格要求 ,。芯片光刻溫濕度均勻性精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕,、沉積、表征和其他常見(jiàn)加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度,、潔凈度,、防噪音、抗微震條件,。

在計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室中,，高精度的電子天平用于精確稱量微小質(zhì)量差異，對(duì)環(huán)境溫濕度要求極高,。若溫度突然升高 2℃,，天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹，傳感器的靈敏度隨之改變,，原本能測(cè)量到微克級(jí)別的質(zhì)量變化,，此時(shí)卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差，導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果失準(zhǔn),。濕度方面,，當(dāng)濕度上升至 70% 以上，空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤(pán)及內(nèi)部精密機(jī)械結(jié)構(gòu)上,，增加了額外的重量,，使得測(cè)量數(shù)據(jù)偏大，無(wú)法反映被測(cè)量物體的真實(shí)質(zhì)量,，進(jìn)而影響科研實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度,。

在電極制備環(huán)節(jié)，溫濕度的不穩(wěn)定會(huì)對(duì)電極材料的涂布均勻性造成極大干擾,。溫度過(guò)高,，涂布用的漿料黏度降低，流動(dòng)性增強(qiáng),，容易出現(xiàn)厚度不均的情況,，這會(huì)使得電池在充放電過(guò)程中局部電流密度不一致，降低電池性能,。濕度若偏高,，漿料中的水分含量難以精細(xì)控制,，水分過(guò)多不僅會(huì)改變漿料的化學(xué)性質(zhì)，影響電極材料與集流體的附著力,，還可能在后續(xù)干燥過(guò)程中引發(fā)氣泡,，導(dǎo)致電極表面出現(xiàn)孔洞，增加電池內(nèi)阻,，降低電池的能量密度和充放電效率,。提供詳細(xì)的培訓(xùn)服務(wù)，讓用戶熟練掌握設(shè)備操作與維護(hù)要點(diǎn),。

我司憑借深厚的技術(shù)積累,，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù)，精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出,。溫度波動(dòng)值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃,、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級(jí),、十級(jí),、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性,，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,，為諸如芯片研發(fā)這類對(duì)溫度極度敏感的項(xiàng)目，打造了近乎完美的溫場(chǎng)環(huán)境,，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾,。同時(shí)，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,，壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,，長(zhǎng)達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)和制造無(wú)后顧之憂。在潔凈度方面,，實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命,。針對(duì)一些局部溫度波動(dòng)精度要求比較高的區(qū)域，可以采用局部氣浴的控制方式,，對(duì)局部進(jìn)行高精密溫控,。芯片光刻溫濕度均勻性

高精密環(huán)控設(shè)備可移動(dòng)，容易維護(hù)和擴(kuò)展。光刻機(jī)高精度溫濕度機(jī)組

超精密激光外徑測(cè)量?jī)x,，在精密制造領(lǐng)域里,，是線纜、管材等產(chǎn)品外徑測(cè)量環(huán)節(jié)中不可或缺的存在,。其測(cè)量精度直接關(guān)乎產(chǎn)品質(zhì)量,。然而，環(huán)境因素對(duì)它的干擾不容小覷,。一旦溫度產(chǎn)生波動(dòng),，儀器的光學(xué)系統(tǒng)便會(huì)因熱脹冷縮發(fā)生熱變形，致使原本激光聚焦出現(xiàn)偏差,，光斑尺寸也隨之改變,，如此一來(lái)，根本無(wú)法精確測(cè)量產(chǎn)品外徑,。像在高精度線纜生產(chǎn)中,，哪怕只是極其微小的溫度變化，都可能致使產(chǎn)品外徑公差超出標(biāo)準(zhǔn)范圍,。而在高濕度環(huán)境下，水汽對(duì)激光的散射作用大幅增強(qiáng),，返回的激光信號(hào)強(qiáng)度減弱,，噪聲卻不斷增大，測(cè)量系統(tǒng)難以準(zhǔn)確識(shí)別產(chǎn)品邊界,，造成測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性和準(zhǔn)確性都嚴(yán)重變差 ,。光刻機(jī)高精度溫濕度機(jī)組