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珠海硅光電硅光電二極管陣列

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-23

二,、2DU型硅光電二極管:2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的,從外形上分有2DUA,,2DUB等類型,,其中2DUA型管子體積較小些(見圖1(b))。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝,,入射光的窗口不帶透鏡,。這類管子引線共有三條,分別稱作前極,、后極、環(huán)極(見圖1(b)),。前極即光敏區(qū)(N型區(qū))的引線,;后極為襯底(P型區(qū))的引線;環(huán)極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩(wěn)定性而設(shè)計(jì)的另一電極,。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照,、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好,。這樣的管子性能穩(wěn)定,,同時(shí)對檢測弱光的能力也越強(qiáng)。為什么加了環(huán)極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電流呢?這要從硅光電二極管的制造工藝談起,。在制造硅光電二極管的管心時(shí),,將硅單晶片經(jīng)過研磨拋光后在高溫下先生長一層二氧化硅氧化層,然后利用光刻工藝在氧化層上刻出光敏面的窗口圖形,,利用擴(kuò)散工藝在圖形中擴(kuò)散進(jìn)去相應(yīng)的雜質(zhì)以形成P-N結(jié),。然后再利用蒸發(fā)、壓焊,、燒結(jié)等工藝引出電極引線,。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的,在高溫生長氧化層的過程中,,容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層,。世華高為你提供硅光電二極管解決方案。珠海硅光電硅光電二極管陣列

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硅光二極管的光譜響應(yīng)特性是其重要的性能指標(biāo)之一,。通過調(diào)整材料和工藝參數(shù),,可以優(yōu)化硅光二極管的光譜響應(yīng)范圍,使其更好地適應(yīng)不同應(yīng)用場景的需求,。例如,,在可見光通信中,需要選擇對可見光具有良好響應(yīng)的硅光二極管,;而在紅外探測中,,則需要選擇對紅外光具有良好響應(yīng)的器件。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負(fù)責(zé)光電器件的制造,。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管,、紅外線接收頭,、發(fā)射管、發(fā)光二極管,、硅光電池,、霍爾元件、光電開關(guān),、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商,。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),,分布在中國、印度,、泰國,、伊朗、香港等多個(gè)國家和地區(qū),。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類的豐富,,公司的銷售業(yè)績穩(wěn)步提升。徐州硅pin硅光電二極管收費(fèi)深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。

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本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果:本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,,通過適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率,,耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低,本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補(bǔ)償,;高反層的形成使得器件保持對長波響應(yīng)度的同時(shí),,降低響應(yīng)時(shí)間;由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低,,擴(kuò)散區(qū)阻抗很小,,因此擴(kuò)散時(shí)間很短;從而實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升,。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,,由于通過低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻,縮短了擴(kuò)散時(shí)間,;而高反層的設(shè)置提高了長波的吸收效率,,降低了耗盡區(qū)的物理厚度,縮短了漂移時(shí)間,,并且在其上開孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗,;襯底采用低電阻率材料,背面不用進(jìn)行減薄注入,,直接背面金屬化形成背面電極,,避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖,;圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖,;圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖;圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖,;圖5-1~圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測試曲線,;圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線,。

水熱時(shí)間為2-12h。地,步驟3所述氮?dú)獗Wo(hù)條件下的煅燒溫度為200-400℃,,煅燒時(shí)間為1-6h,。本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明創(chuàng)造性地利用靜電紡絲技術(shù)制備了sr摻雜batio3納米纖維電極,該方法制備過程簡單,,便于規(guī)?;a(chǎn)。且所制備的sr摻雜batio3鐵電材料自發(fā)極化能力強(qiáng),,在外場環(huán)境下產(chǎn)生較強(qiáng)的表面電場,,能夠有效的分離znte電極的光生載流子,極大地提高了znte載流子的分離效率,,降低了光生載流子的復(fù)合速度,,從而為**co2還原反應(yīng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。附圖說明圖1為實(shí)施例一中制備的sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖,。圖2為實(shí)施例一中制備的sr摻雜batio3/znte電極的掃描電鏡圖,;圖3為實(shí)施例二中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極的線性掃描伏安曲線圖;圖4為實(shí)施例三中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極在,。具體實(shí)施方式為了更好的理解本發(fā)明,,下面結(jié)合實(shí)施例和附圖進(jìn)一步闡明本發(fā)明的內(nèi)容,但本發(fā)明的內(nèi)容不局限于下面的實(shí)施例,。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負(fù)責(zé)光電器件的制造。低功耗硅光電二極管就找世華高,。

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以p型離子注入形成有源區(qū),;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層,;所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形,。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,,而wd≥w入/2,,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,,λ為入射光波長,。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層,;2)高反層開設(shè)刻蝕孔,;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層,;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護(hù)環(huán)和有源區(qū);5)在保護(hù)環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層,,然后在sio2層上方生成si3n4層,;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,,然后濺射金屬,,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極,。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料,;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,,通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成,;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng),;所述的保護(hù)環(huán)為as離子源注入,,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,。硅pin光電二極管哪家棒!世華高,。福州硅光硅光電二極管型號(hào)

世華高硅光電二極管性能穩(wěn)定,,技術(shù)成熟。珠海硅光電硅光電二極管陣列

本發(fā)明屬于光電催化技術(shù)領(lǐng)域,,具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法,,可以實(shí)現(xiàn)znte光生載流子的定向分離,并加速界面co2還原反應(yīng)的活性,。背景技術(shù):能源危機(jī)和溫室效應(yīng)是人類目前急需解決的關(guān)鍵科學(xué)難題,,以太陽能驅(qū)動(dòng)的co2還原為解決這些問題提供了一個(gè)理想的途徑,該反應(yīng)綠色,、**,,條件溫和,吸引了多國和科研人員的目光,。光電催化反應(yīng)技術(shù)整合光催化和電催化技術(shù)的優(yōu)勢,從而實(shí)現(xiàn)對co2還原更高的效率和更理想的選擇性,。目前,光電催化co2還原的效率依然很低,,太陽能到化學(xué)能的轉(zhuǎn)化效率遠(yuǎn)低于工業(yè)應(yīng)用所需的10%效率,,根本原因在于載流子復(fù)合嚴(yán)重,界面反應(yīng)動(dòng)力學(xué)緩慢,。為了推進(jìn)光電催化co2還原技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用,,關(guān)鍵是開發(fā)**載流子分離的光陰極材料,。znte是一種可見光響應(yīng)的p型半導(dǎo)體(),其導(dǎo)帶邊電勢()遠(yuǎn)負(fù)于其它半導(dǎo)體,,能克服co2還原的熱力學(xué)勢壘,是目前光(電)催化co2還原的理想材料,。但是,,單一znte光電極材料依然無法**分離光生載流子,大部分載流子在界面反應(yīng)發(fā)生之前復(fù)合損失,。構(gòu)建半導(dǎo)體納米異質(zhì)結(jié)是分離光生載流子的通用途徑,,但該方法往往需要兩個(gè)半導(dǎo)體之間的能帶匹配,且兩相界面需有利于載流子傳輸,。這樣,,很大地限制了半導(dǎo)體材料的選擇。因此,。珠海硅光電硅光電二極管陣列