激光干涉儀,；光的干涉：光具有波粒二象性,。兩列或幾列光波在空間相遇時(shí)相互迭加,，在某些區(qū)域始終加強(qiáng),，在另一些區(qū)域則始終削弱，形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布的現(xiàn)象,。產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件：只有兩列光波的頻率相同,，位相差恒定，振動(dòng)方向一致的相干光源,，才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉,。由兩個(gè)普通獨(dú)特光源發(fā)出的光，不可能具有相同的頻率,，更不可能存在固定的相差,，因此，不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象,。若光的振幅相等：相位角相同時(shí),，復(fù)合光強(qiáng)為原先的2倍，產(chǎn)生明條紋,。當(dāng)相位角相差180o（半個(gè)波長(zhǎng)）時(shí),，復(fù)合光強(qiáng)為0,，產(chǎn)生暗條紋,。激光干涉儀具有較高的精度和效率,。小型激光干涉儀品質(zhì)保障

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡,，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào),。若光程差有變化時(shí)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化,。當(dāng)高壓連接在陽(yáng)極和陰極之間時(shí),，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束,，通過(guò)放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來(lái)成為輸出激光光束,。其中，為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),，通過(guò)加熱器控制激光管長(zhǎng)度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),，此時(shí)穩(wěn)定輸出后，激光器即可進(jìn)行干涉測(cè)量,。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,，這些激光管具有633納米的波長(zhǎng)輸出。小型激光干涉儀品質(zhì)保障激光干涉儀可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析,。

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡,，Z后重新匯聚返回激光干涉儀,。若光程差沒有變化時(shí)，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào),。若光程差有變化時(shí),，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀,。若光程差沒有變化時(shí),，激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化,。

激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋,。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形,、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L,。使用單頻激光干涉儀時(shí),，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果,。影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：反射鏡,、角錐棱角誤差。

激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：1,、儀器應(yīng)放置在干燥,、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2,、在移動(dòng)儀器時(shí),，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng),。3,、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,，以防止發(fā)霉,。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡,、分光鏡等,，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔,。5,、導(dǎo)軌、絲桿,、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件,，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑,。6,、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件,。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,，保持其不失油,。激光干涉儀可以進(jìn)導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,。小型激光干涉儀品質(zhì)保障

激光干涉儀原理：激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束,。小型激光干涉儀品質(zhì)保障

影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：①激光器頻率(波長(zhǎng))及頻率穩(wěn)定性;②測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度,、壓力傳感器誤差;當(dāng)然,，在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān),。激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)：激光干涉儀必須定人保管,，機(jī)加技術(shù)組人員專人使用，專人送檢,，他人不得隨意動(dòng)用,，以防損壞，降低精度,。激光干涉儀要設(shè)置專庫(kù)存放,，環(huán)境要求干燥、通風(fēng),、防震,、防霧、防塵,、防銹,。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓,、受凍,、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管,。小型激光干涉儀品質(zhì)保障