鎖定同義詞wafer一般指晶圓本詞條由“科普中國(guó)”科學(xué)百科詞條編寫與應(yīng)用工作項(xiàng)目審核,。晶圓指制造半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底(也叫基片),。由于是晶體材料,其形狀為圓形,,所以稱為晶圓,。襯底材料有硅、鍺,、GaAs,、InP、GaN等,。由于硅為常用,,如果沒有特別指明晶體材料,通常指硅晶圓,。[1]在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),,而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅,,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,化,,并經(jīng)蒸餾后,,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99%,。中文名晶圓外文名Wafer本質(zhì)硅晶片純度99作用制作硅半導(dǎo)體集成電路形狀圓形晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,,半導(dǎo)體集成電路主要的原料是硅,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式存在于巖石,、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純,、單晶硅生長(zhǎng),、晶圓成型,。首先是硅提純,,將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,并且有碳源存在的電弧熔爐中,,在高溫下,,碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)(碳與氧結(jié)合,剩下硅),,得到純度約為98%的純硅,,又稱作冶金級(jí)硅,這對(duì)微電子器件來說不夠純,。全自動(dòng)高精度共晶機(jī)找泰克光電,。臨沂固晶共晶機(jī)哪家好
因此對(duì)冶金級(jí)硅進(jìn)行進(jìn)一步提純:將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),,生成液態(tài)的硅烷,然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝,,得到了高純度的多晶硅,,其純度高達(dá)99.%,成為電子級(jí)硅,。接下來是單晶硅生長(zhǎng),,常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下圖所示,,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400℃,,爐中的氣體通常是惰性氣體,,使多晶硅熔化,同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng),。為了形成單晶硅,,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn),把一顆籽晶浸入其中,,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn),,同時(shí)慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出,。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端,,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長(zhǎng)上去。因此所生長(zhǎng)的晶體的方向性是由籽晶所決定的,,在其被拉出和冷卻后就生長(zhǎng)成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒,。用直拉法生長(zhǎng)后,單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割,,然后進(jìn)行研磨,,將凹凸的切痕磨掉,再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,,晶圓片制造就完成了,。晶圓制造單晶硅棒的直徑是由籽晶拉出的速度和旋轉(zhuǎn)速度決定的[2],一般來說,,上拉速率越慢,。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。四川澀谷共晶機(jī)設(shè)備COC共晶機(jī)“共晶臺(tái)采用電流脈沖加熱模塊,,設(shè)有氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng)”找泰克光電,。
且所述片盒架能夠相對(duì)所述固定架自轉(zhuǎn),所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。進(jìn)一步地,,所述片盒架的數(shù)量為多個(gè),,多個(gè)所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上。進(jìn)一步地,,所述固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤,、從動(dòng)輪盤和連接桿,所述驅(qū)動(dòng)輪盤與所述從動(dòng)輪盤同軸相對(duì)設(shè)置,,且,,所述驅(qū)動(dòng)輪盤和所述從動(dòng)輪盤分別可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上,所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤與所述從動(dòng)輪盤之間,;所述片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤和所述從動(dòng)輪盤之間,。進(jìn)一步地,所述片盒架包括同軸相對(duì)設(shè)置的限位盤和第二限位盤,,所述限位盤與所述第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿,,多根所述限位桿沿所述限位盤的周向間隔設(shè)置,多個(gè)所述限位桿之間形成晶圓的放置空間,;所述限位盤與所述第二限位盤相互遠(yuǎn)離的側(cè)面分別通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)輪盤和所述從動(dòng)輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)連接,,且所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述驅(qū)動(dòng)輪盤的軸線平行設(shè)置。進(jìn)一步地,,所述限位桿的數(shù)量為三根,,三根所述限位桿包括兩根固定桿和一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿,兩根所述固定桿的兩端分別與所述限位盤和第二限位盤固定連接,。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,。
生長(zhǎng)的單晶硅棒直徑越大,。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,,但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm,,才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑的增長(zhǎng)而增長(zhǎng),。晶圓制造廠把這些多晶硅融解,,再在融液里種入籽晶,然后將其慢慢拉出,,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,,由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,,此過程稱為“長(zhǎng)晶”,。硅晶棒再經(jīng)過切段,滾磨,,切片,,倒角,,拋光,激光刻,,包裝后,,即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,這就是“晶圓”,。晶圓基本原料編輯晶圓硅是由石英砂所精練出來的,,晶圓便是硅元素加以純化(),接著是將這些純硅制成硅晶棒,,成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料,,經(jīng)過照相制版,研磨,,拋光,,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,,然后切割成一片一片薄薄的晶圓,。硅片用于集成電路(IC)基板、半導(dǎo)體封裝襯底材料,,硅片劃切質(zhì)量直接影響芯片的良品率及制造成本,。硅片劃片方法主要有金剛石砂輪劃片、激光劃片,。激光劃片是利用高能激光束聚焦產(chǎn)生的高溫使照射局部范圍內(nèi)的硅材料瞬間氣化,,完成硅片分離,但高溫會(huì)使切縫周圍產(chǎn)生熱應(yīng)力,?!案呔劝雽?dǎo)體芯片共晶機(jī)”找泰克光電。
多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置,。在具體使用時(shí),,將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),并通過三根限位桿進(jìn)行限位固定,??梢岳斫獾氖牵ㄎ徊劭墒沟镁A固定穩(wěn)定性得到提高,,且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,,以使每個(gè)晶圓都能充分清洗。為了簡(jiǎn)化設(shè)備,,本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu),。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)輪盤和限位盤連接,,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于同步驅(qū)動(dòng)固定架轉(zhuǎn)動(dòng)和片盒架自轉(zhuǎn),。也即,通過設(shè)置傳動(dòng)機(jī)構(gòu),,使得一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可同時(shí)驅(qū)動(dòng)固定架和片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),。具體而言,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括行星架,,行星架的太陽(yáng)輪與驅(qū)動(dòng)輪盤連接,,且太陽(yáng)輪的軸線與驅(qū)動(dòng)輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置。泰克光電共晶機(jī)及共晶方法,。北京自動(dòng)共晶機(jī)定制價(jià)格
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下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式,,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖,。圖為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓加工固定裝置的示意圖;圖為本發(fā)明實(shí)施例通的晶圓加工固定裝置的片盒架的示意圖,。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。圖標(biāo):-驅(qū)動(dòng)輪盤,;-齒圈固定板,;-片盒架;-加強(qiáng)桿,;-行星輪,;-軸承;-限位輪座,;-拉桿,;-橫向安裝軸;-從動(dòng)輪盤,;-豎向桿,;-中心連接軸;-底板,;-第二豎向桿,;-安裝凸軸;-連接軸,;-齒圈,;-轉(zhuǎn)動(dòng)軸;-導(dǎo)向槽,;-定位槽,;-限位盤;-固定桿,;-轉(zhuǎn)動(dòng)桿,。臨沂固晶共晶機(jī)哪家好