8英寸手動探針臺用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流,、電壓,、阻抗等)或工作狀態(tài),,研發(fā)人員一般會采用萬用電表的表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,,對于精密微?。{米級)的微電子器件(如IC,、wafer,、Chip、LCDArray,、CMOSCameraModule,、Pitch微小的Connector),萬用表點到被測位置就顯得無能為力了,。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試,、分析,。探針臺的設(shè)立能夠加深人類對宇宙和自身的認(rèn)識。上海探針臺設(shè)備
探針臺在使用過程中,,不可用硬物接觸機器,,以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學(xué)部件清潔時,,可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭,。無水酒精時易燃物,注意使用安全,。停電或長期不用,、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命,。操作人員必須嚴(yán)格按要要求操作,,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。工作環(huán)境,。探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上,,較好是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,,潮濕激烈震動,,陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用,。上海探針臺設(shè)備探針臺的運營需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個方面的因素,,并做好安全保密方面的工作,。
半自動型,chuck尺寸800mm/600mm,;X,Y電動移動行程200mm/150mm,;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡,;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2",;可搭配Probe card測試,;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品,;電動型,;chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金),;X,Y電動移動行程300mm x 300mm,;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,,微調(diào)精度土1u,;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡。
隨著5G,、汽車?yán)走_(dá)等技術(shù)的發(fā)展,,在片測試也進入了亞毫米波/太赫茲頻段,對在片測試技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn),。在片測量系統(tǒng):微波射頻在片測量系統(tǒng)一般由射頻/微波測量儀器和探針臺及附件組成,。 微波射頻在片測量系統(tǒng)中,探針臺和探針用于芯片測量端口與射頻測量儀器端口(同軸或波導(dǎo))之間的適配,;微波射頻測量儀器完成各項所需的射頻測量,。探針臺(Probe Station):探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件,、光電器件,、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量,,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。通過與測試儀器的配合,,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,,在進入后序工序前予以剔除,較大程度上降低器件的制造成本,。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測,、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺提供了探索宇宙的有效途徑,。
探針臺的基本組件,,探針臺由六個基本組件組成:Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺 – 用于將卡盤定位在 X,、Y,、Z 和 Theta (θ) 上。機械手——用于將探頭定位在被測設(shè)備 (DUT) 上,。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸,。探頭先進和臂 - 安裝在機械手上,它們直接接觸設(shè)備,。光學(xué) - 用于查看和放大被測設(shè)備和探頭先進,。它是如何工作的?探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。探針臺是在地球表面建立的觀測站,,旨在收集宇宙射線,、電磁波等信息。上海探針臺設(shè)備
探針臺擁有先進的天文儀器,,可以提供高質(zhì)量的觀測數(shù)據(jù),。上海探針臺設(shè)備
探針臺具有以下優(yōu)勢:能夠確保相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)的質(zhì)量。能夠有效縮短研發(fā)時間和資金成本,??梢钥s減器件的制作工藝成本。具有更加可靠和省時省力的優(yōu)勢,,可以縮減器件的制作工藝成本,。可以在真空條件下操作,,提高了測試的準(zhǔn)確度,。具有高剛性的硅片承載臺和高精度的探針控制系統(tǒng),有效提高了測試精度,??蛇x配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖,,提高了測試靈活性,。具有優(yōu)良的直流漏電控制能力,,確保測試的安全性。探針臺普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光電以及集成電路等行業(yè),,用于測試、調(diào)試和維修電子設(shè)備,、電路板和芯片,。上海探針臺設(shè)備