多個定位槽沿限位桿的長度方向依次間隔布置,。在具體使用時，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過三根限位桿進(jìn)行限位固定,。可以理解的是,，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高,，且使得各個晶圓之間具有間隙，以使每個晶圓都能充分清洗,。為了簡化設(shè)備,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動機(jī)構(gòu)。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。傳動機(jī)構(gòu)與驅(qū)動輪盤和限位盤連接,，傳動機(jī)構(gòu)用于同步驅(qū)動固定架轉(zhuǎn)動和片盒架自轉(zhuǎn)。也即,，通過設(shè)置傳動機(jī)構(gòu),，使得一個驅(qū)動機(jī)構(gòu)可同時驅(qū)動固定架和片盒架轉(zhuǎn)動。具體而言,，傳動機(jī)構(gòu)包括行星架,，行星架的太陽輪與驅(qū)動輪盤連接，且太陽輪的軸線與驅(qū)動輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置,。共晶機(jī)廠家就找泰克光電,。北京高速共晶機(jī)

    泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,，特別是涉及一種晶圓視覺檢測機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),。背景技術(shù)：目前,，集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè)，而晶圓的生產(chǎn)和檢測是該產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),。晶圓被切割后,，非常容易產(chǎn)生諸如污染、劃痕和裂紋等缺陷,。若這些有問題的次品被流入下一環(huán)節(jié),，將會地降低芯片的良率。為防止此情況發(fā)生,，半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中一般都設(shè)有晶圓視覺檢測機(jī),，用于檢測晶圓的質(zhì)量。傳統(tǒng)的晶圓檢測機(jī)依靠人工將晶圓搬運(yùn)至檢測臺,，這樣的操作費(fèi)時費(fèi)力?，F(xiàn)有的晶圓視覺檢測機(jī)設(shè)有夾取機(jī)構(gòu)，其能夾住晶圓,，并將晶圓搬運(yùn)到晶圓視覺檢測機(jī)的檢測裝置中,。這種夾取機(jī)構(gòu)可以是真空吸盤或其他機(jī)械裝置。北京高速共晶機(jī)泰克光電共晶機(jī)的具體使用方法,。

    以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述轉(zhuǎn)動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤可拆卸連接,，和/或所述轉(zhuǎn)動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤滑動連接,，且所述轉(zhuǎn)動桿的兩端能夠相對所述限位盤和第二限位盤固定。進(jìn)一步地,，所述限位盤和所述第二限位盤分別沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽,，所述轉(zhuǎn)動桿滑動連接在所述導(dǎo)向槽內(nèi)。進(jìn)一步地,，多根所述限位桿面向所述晶圓的放置空間的側(cè)面上均設(shè)置有卡設(shè)固定晶圓的定位槽,，所述定位槽的數(shù)量為多個，多個所述定位槽沿所述限位桿的長度方向依次間隔布置,。進(jìn)一步地,，所述晶圓加工固定裝置還包括傳動機(jī)構(gòu)，所述傳動機(jī)構(gòu)與所述驅(qū)動輪盤和所述限位盤連接,，所述傳動機(jī)構(gòu)用于同步驅(qū)動所述固定架轉(zhuǎn)動和所述片盒架自轉(zhuǎn),。進(jìn)一步地，所述傳動機(jī)構(gòu)包括行星架,，所述行星架的太陽輪與所述驅(qū)動輪盤連接,。

    濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜,。離子刻蝕出布線結(jié)構(gòu)，并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質(zhì),。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,，加熱去除SOG中的溶劑。然后再沉積一層介電質(zhì),，為沉積第二層金屬作準(zhǔn)備,。（1）薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同，厚度通常小于1um,。有絕緣膜,、半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜,。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類,。CVD法有外延生長法、HCVD,，PECVD等,。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,，PVD溫度低,，沒有毒氣問題；CVD溫度高,，需達(dá)到1000oC以上將氣體解離,，來產(chǎn)生化學(xué)作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,，PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),，而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來沉積，而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù),。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度,，耐腐蝕等特點(diǎn)。（2）真空蒸發(fā)法（EvaporationDeposition）采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法,。蒸發(fā)原料的分子（或原子）的平均自由程長（10-4Pa以下,，達(dá)幾十米），所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達(dá)基片,。全自動高精度共晶機(jī)找泰克光電,。

    工作人員可以通過控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動升降板在豎直方向上移動。承接裝置包括至少一個托臂,，托臂與升降板連接,，可隨升降板上下移動。在搬運(yùn)晶圓時,，托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方,，且靠近晶圓,。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后，可將晶圓拖到托臂上,，由升降驅(qū)動器驅(qū)動升降板和托臂下降,，帶動晶圓下降到檢測位置。從源頭上杜絕了因夾取機(jī)構(gòu)機(jī)器故障而松開晶圓,，導(dǎo)致晶圓從高處掉落的事故，減少了晶圓受損的概率,，使得晶圓運(yùn)輸更加可靠,。感應(yīng)裝置安裝在托臂上，用于感應(yīng)晶圓是否被拖放到位,，感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接,，可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動托臂升降到位,，以使托臂盡量靠近夾取機(jī)構(gòu),。在本實(shí)施例中，感應(yīng)裝置具體為光電傳感器,。其中,，升降裝置還包括安裝板。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。半導(dǎo)體行業(yè)有哪些大公司?深圳泰克光電,。北京高速共晶機(jī)

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    升降板滑動連接在導(dǎo)軌上。進(jìn)一步地,，為了使托臂能夠在水平方向上自由移動,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓,，托臂通過移動模塊安裝在升降板上,，移動模塊與控制系統(tǒng)電連接，移動模塊安裝在升降板的頂部且與托臂的底部連接,，用于驅(qū)動托臂在升降板上沿水平方向來回滑動,。控制系統(tǒng)控制移動模塊在水平方向上來回移動,，以帶動托臂在升降板的頂部來回移動,。移動模塊包括固定板、移動電機(jī)和傳動組件,，固定板水平安裝在升降板上,，移動電機(jī)固定安裝在固定板上且與控制系統(tǒng)電連接，移動電機(jī)的輸出端與傳動組件的輸入端連接,，傳動組件的輸出端與托臂連接,，移動電機(jī)驅(qū)動傳動組件帶動托臂在固定板上滑動。北京高速共晶機(jī)