可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。

適用于300mm半導體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,，檢測設(shè)備等的晶圓搬運,。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè)。珠海質(zhì)量晶圓運送機械吸臂價格

 晶圓是半導體行業(yè)的關(guān)鍵元件,，隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot),。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預對準設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低,。后者將晶圓從預對準設(shè)備上取下,，搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運到接口位置,，等待大氣機械手放回晶圓盒,。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進行，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,，控制精度和可靠性要求極高。東莞進口晶圓運送機械吸臂價位柔性機械臂具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,。

    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸，有效的避免了在運輸途中磕碰損壞,，邊角碎掉什么的造成材料損耗,。而且，請仔細回想一下,，你看到的晶圓是完全的圓的嗎,？非也！在硅棒做出來后,，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角,，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上,，為了減少浪費,，只裁剪個圓形小口，叫做Notch,。***再進行切片,，得到的晶圓如下。那么,，這個小豁口是做什么用的呢,？很容易想到——定位,。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時候也不容易出錯了,。所以,，為什么“晶圓”沒有方的？,？,？答案很簡單，是一個歷史遺留的問題,，也是一個技術(shù)限制的問題,。而且，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～,。

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化,，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.9%,。 注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手,、塑料機機械手。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構(gòu)造模塊。TO-DOM由兩個旋轉(zhuǎn)模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成,。根據(jù)空間機械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設(shè)計,即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié),。由這樣數(shù)個不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個自由度的空間機器臂。采用一體化概念設(shè)計的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性,。通過對由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進行的試驗初步驗證了TODOM設(shè)計概念的合理性及可行性,。主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復性高的動作,。珠海質(zhì)量晶圓運送機械吸臂價格

機械手臂是機械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實際應用的自動化機械裝置.珠海質(zhì)量晶圓運送機械吸臂價格

隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,，應用高速度、高精度,、高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應的增加，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務執(zhí)行的精度降低,。所以,，機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮，實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性,。柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統(tǒng),，其動力學方程具有非線性、強耦合,、實變等特點,。而進行柔性臂動力學問題的研究，其模型的建立是極其重要的,。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù),。一般控制系統(tǒng)的描述（包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述）與傳感器/執(zhí)行器的定位,，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關(guān),。 珠海質(zhì)量晶圓運送機械吸臂價格

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