本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求,，適用于各種半導體設備,。

為了解決上述技術問題,，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸,、旋轉軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié),，所述的伸展電機,、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運動,。

柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng)，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。佛山銷售晶圓運送機械吸臂銷售詞

半導體行業(yè),，尤其是集成電路領域，晶圓的身影隨處可見,。

晶圓就是一塊薄薄的,、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結構,，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,，都是規(guī)規(guī)矩矩,、方方正正的?？梢?，晶圓在實際應用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的,？為什么是“晶圓”,，而不做成“晶方”,？

要解釋這個問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”,；另一方面是“環(huán)境造成的”。 韶關庫存晶圓運送機械吸臂企業(yè)柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統(tǒng),，其動力學方程具有非線性,、強耦合、實變等特點,。

半導體行業(yè),，尤其是集成電路領域，晶圓的身影隨處可見,。

晶圓就是一塊薄薄的,、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結構,，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的,?？梢姡A在實際應用之中還是要被切割成方形的,。

所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的,？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”,？

要解釋這個問題,，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”,。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度,。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,，維護方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設備要求,，適用于各種半導體設備,。

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結構能夠實現(xiàn)和雙臂結構同樣的功能,。

適用于300mm半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部,，檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速,，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式,，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 此外,，對于熱加工的機械手,，還要考慮熱輻射，手臂要較長,，以遠離熱源,，并須裝有冷卻裝置。

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中,，機械手臂傳送晶圓時,，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,，本實用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點將會變得清楚,。 因此，在設計手臂時,，須根據(jù)機械手抓取重量,、自由度數(shù)、工作范圍,、運動速度及機械手的整體布局,。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂批發(fā)零售價

越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè)。佛山銷售晶圓運送機械吸臂銷售詞

它通常有幾個自由度,，用以抓取或移動物體（工具或工件）,。”所以對工業(yè)機械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機械電子裝置,；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。如夾持焊鉗或焊***,，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件,；進行激光切割,；噴涂；裝配機械零部件等等,。編程就是讓計算機為解決某個問題而使用某種程序設計語言編寫程序代碼,，并**終得到結果的過程。為了使計算機能夠理解人的意圖,，人類就必須要將需解決的問題的思路、方法,、和手段通過計算機能夠理解的形式告訴計算機,，使得計算機能夠根據(jù)人的指令一步一步去工作，完成某種特定的任務,。這種人和計算機之間交流的過程就是編程,。佛山銷售晶圓運送機械吸臂銷售詞

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